松下BM221维修手册_4E3DA - 第85页
BM221 维修手 册 5.2 R obot 头 驱动部 E3 3MCC-Y 1-B01 -D0 5.2-2 5.2.2 Unit No. 108 62093 00 No. Name Type 1. S 轴原点 检测 P923 S1 1.
BM221
维修手册
5.2 Robot
头
驱动部
E33MCC-Y1-B01-D0
5.2-1
5.2. Robot
E33MCC-Y1-B01-D0
5.2.1
Unit No. 1086209200
No. Name Type
1.
H
轴原点检测
E3T-ST11
2.
遮光板
E39-S64
1., 2.
BM221
维修手册
5.2 Robot
头
驱动部
E33MCC-Y1-B01-D0
5.2-2
5.2.2
Unit No. 1086209300
No. Name Type
1.
S
轴原点检测
P923S1
1.
BM221
维修手册
5.3
基板搬送部关系
E33MCC-Y3-211-C0
5.3-1
7.
3.
8.
9.
2.
6.
4.
5.
1.
5.3.
E33MCC-Y3-211-C0
5.3.1 /
Unit No. 1086206300/ 1086205300