松下BM221维修手册_4E3DA - 第86页
BM221 维修手 册 5.3 基板搬 送部 关系 E33M CC-Y 3-211 -C0 5.3-1 7. 3. 8. 9. 2. 6. 4. 5. 1. 5.3. E33MCC-Y3-211-C0 5.3.1 / Unit No. 108 62063 00/ 1 0862053 00
BM221
维修手册
5.2 Robot
头
驱动部
E33MCC-Y1-B01-D0
5.2-2
5.2.2
Unit No. 1086209300
No. Name Type
1.
S
轴原点检测
P923S1
1.
BM221
维修手册
5.3
基板搬送部关系
E33MCC-Y3-211-C0
5.3-1
7.
3.
8.
9.
2.
6.
4.
5.
1.
5.3.
E33MCC-Y3-211-C0
5.3.1 /
Unit No. 1086206300/ 1086205300
BM221
维修手册
5.3
基板搬送部关系
E33MCC-Y3-211-C0
5.3-2
No. Name Type
1.
基板检测
P919
2.
止动器上限检测
RB4
3.
基板到达检测
P917M
4.
基板支撑台上限
D-A73
5.
基板支撑台下限
D-A73
6.
基板检测
P919
7.
基板检测
P919
8.
基板检测
P919
9.
基板到达检测放大器
E3C-JC4P