松下BM221维修手册_4E3DA - 第87页

BM221 维修手 册 5.3 基板搬 送部 关系 E3 3MCC-Y 3-21 1-C0 5.3-2 No. Name Type 1. 基板检 测 P919 2. 止动器 上限 检测 RB4 3. 基板到 达检 测 P917 M 4. 基板支 撑台 上限 D-A 73 5. 基板支 撑台 下限 D-A 73 6. 基板检 测 P919 7. 基板检 测 P919 8. 基板检 测 P919 9. 基板到 达检 测放大器 E3C-JC …

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BM221
维修手册
5.3
基板搬送部关系
E33MCC-Y3-211-C0
5.3-1
7.
3.
8.
9.
2.
6.
4.
5.
1.
5.3.
E33MCC-Y3-211-C0
5.3.1 /
Unit No. 1086206300/ 1086205300
BM221
维修手册
5.3
基板搬送部关系
E33MCC-Y3-211-C0
5.3-2
No. Name Type
1.
基板检测
P919
2.
止动器上限检测
RB4
3.
基板到达检测
P917M
4.
基板支撑台上限
D-A73
5.
基板支撑台下限
D-A73
6.
基板检测
P919
7.
基板检测
P919
8.
基板检测
P919
9.
基板到达检测放大器
E3C-JC4P
BM221
维修手册
5.4
元件供给部、供料器
E33MCC-Y5-001-B0
5.4-1
5.4.
E33MCC-Y5-001-B0
5.4.1
Unit No. 1086207650
No. Name Type
1.
前部供料器浮起检测（光纤装置）
E32-T11R
2.
后部供料器浮起检测（光纤装置）
E32-T11R
3.
前部供料器浮起检测（透镜装置）
P916E
4.
后部供料器浮起检测（透镜装置）
P916E
5.
前部供料器浮起检测（放大器装置）
P910T
6.
后部供料器浮起检测（放大器装置）
P910T
1.
2.
3.
5.
4.
6.