FX3_MaintenanceManual_Rev1_C - 第131页
Rev1.00 维修调整要领书 13-25 13-5 ． XY 装置 ＸＹ 装置由检测驱动 ＸＹ 轴 AC 伺服放大器和移动位置的电磁标尺构成 。 13-5-1 ． XY 装置构成 AC 伺服放大器一共装有 12 台， 4 台是驱动 X 轴的 AC 伺服放大器，另 8 台是驱动 Y 轴的伺服放大器。 X (LF) 轴 40048019 X (LR) 轴 40048019 YL (LF) 轴 40048020 YR (LF) 轴 4004…
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13-24
【更换顺序】
①
｡
更换工作一定要在主电源和主自动断路器、主开关都处于关闭的状态下进行
② 电池装置被配置在底座架右前侧、ATX 电源 (40048006)
｡
的下侧
若拧松 2 根 SL6041092TN，就能和 BATTERY SUPPORT (40047082)
｡
一起拆卸下来
另外，拆下与 ATX
｡
电源相连接的电缆
③ 若从 BATTERY SUPPORT (40047082)中拆下 4 根 INCH SCREW (40048047)
｡
，就能拆卸下来
④ 把电装置池换成新的，按
｡
照与拆卸时相反的顺序进行安装
INCH SCREW
40048047×4
SL6041092TN×2
BATTERY SUPPORT
(
40047082
)
ATX BASE
(40063462)
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13-5． XY装置
ＸＹ装置由检测驱动ＸＹ轴 AC 伺服放大器和移动位置的电磁标尺构成。
13-5-1． XY装置构成
AC 伺服放大器一共装有 12 台，4 台是驱动 X 轴的 AC 伺服放大器，另 8 台是驱动 Y 轴的伺服放大器。
X (LF) 轴
40048019
X (LR) 轴
40048019
YL (LF) 轴
40048020
YR (LF) 轴
40048020
YR (LR) 轴
40048020
YL (LR）轴
40048020
图 13-5-1-1 XY 装置的构成 （底座架内左侧）
X (RF) 轴
40048019
Ｘ (RR) 轴
40048019
YL (RF) 轴
40048020
YR (RF) 轴
40048020
YR (RR) 轴
40048020
YL (RR) 轴
40048020
图 13-5-1-2 XY 装置的构成（底座架内右侧）
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13-26
【更换后的调整项目】
更换伺服放大器时，必须利用各轴的伺服放大器的旋转开关（SW1）进行轴选择设置。
请打开伺服放大器前面的盖罩，转动选轴用的旋转开关（SW1），使箭头指向下表的设置值。
请确认直插式开关（SW2）为 OFF 状态。
伺服放大器 选轴开关设置值
X (LF) 0
X (LR) 1
YL (LF) 0
YR (LF) 1
YL (LR) 2
YR (LR) 3
X (RF) 0
X (RR) 1
YL (RF) 0
YR (RF) 1
YL (RR) 2
YR (RR) 3
13-5-2． XY伺服放大器的显示器显示
XY 伺服放大器正面装有指示状态的 7 段 LED。
一般情况下显示如下。
显示 Ab C# d#
内容 正在初始化
→
伺服 OFF
→
伺服 ON
* #显示轴编号（参照下表）。
轴 轴编号#
X (LF) 轴 01
X (LR) 轴 02
YL (LF) 轴 01
YR (LF) 轴 02
YL (LR) 轴 03
YR (LR) 轴 04
X (RF) 轴 01
X (RR) 轴 02
YL (LF )轴 01
YR (LF) 轴 02
YL (LR) 轴 03
YR (LR) 轴 04
SW2
1 2
ON
SW1