FX3_MaintenanceManual_Rev1_C - 第30页
Rev1.00 维修调整要领书 3-1 危险 为了防止突然的起动造成事故,请关掉电源之后再进行操作。 3 贴装头周边部件 3-1 . 电磁阀的更换 降低主体的原压力,进行更换。 1 ) 先拆下 ① 带垫片内六角螺钉 (× 2 ) 、 ② 带垫片内六角螺钉 (× 2 ) , 再拆下 SV 保护罩, 电线导向。 2 ) 先拆下 ③ 带垫片内六角螺钉(× 2 ) 、 扎线 、 空气软管,再拆卸电磁阀主体。 3 ) 先拆卸 ④ 圆头螺钉(× 2…

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维修调整要领书
2-10
2-8. 更换后重新调整项目一览
激光偏差 贴装头偏差 贴装综合偏差
贴装头组件 ○ ○ ○
Z 马达 ○
θ马达 ○
Z 传感器 ○
LNC60 ○ ○ ○
贴装头提升气缸
同步皮带 Z ○
同步皮带θ ○
Z 滑动轴 ○ ○ ○
MS参数请从左边按顺序输入。
更换贴装头装置组、Z 马达、同步皮带 Z 后进行激光偏差输入时,请将激光偏差的基板上面高度值置为
0 之后重新取得。如果仍是更换前的偏差值,有些情况下可能不能正确取得偏差或不能自动取得。
注意
为了防止对人体造成伤害,触摸屏、HOD 操作时,请勿将手伸进机器内,也不
要将脸和头部靠近机器。

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3-1
危险
为了防止突然的起动造成事故,请关掉电源之后再进行操作。
3 贴装头周边部件
3-1. 电磁阀的更换
降低主体的原压力,进行更换。
1) 先拆下①带垫片内六角螺钉(×2)、②带垫片内六角螺钉(×2),再拆下 SV 保护罩,电线导向。
2) 先拆下③带垫片内六角螺钉(×2)、扎线、空气软管,再拆卸电磁阀主体。
3) 先拆卸④圆头螺钉(×2),再拆卸各电磁阀。(注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈)
4) 装配请按相反的步骤进行。
5) 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
①带垫片内六角螺钉(×2)
②带垫片内六角
螺钉(×2)
③带垫片内六角螺钉
(×2)
④圆头螺钉(×2)
真空破坏用电磁阀
真空发生用电磁阀
图 3-1 电磁阀的更换
SV 保护罩
电线导向
紧固扭矩:
0.15±0.02N·m

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3-2
3-2. 过滤器的更换
降低主体的原压力,进行更换。
• 贴装头过滤器的更换
1) 先拆卸① cap(×2)、② cap(×2),再拆卸过滤器箱 U。
(过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。)
2) 取出过滤器并进行更换。
3) 装配请按相反的步骤进行。
4) 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
图 3-2 过滤器的更换
• 电磁阀大气开放用过滤器的更换
1) 先拆卸③带垫片内六角螺钉(×2)再拆卸 SV 保护罩。
2) 拧松④螺钉(×2),然后拆卸大气开放用过滤器。
(只要拧松螺钉就可以拆下过滤器)
3) 装配请按相反的步骤进行。
① cap(×2)
② cap(×2)
③带垫片内六角螺钉
(×2)
④带垫片内六角螺钉
(×2)
贴装头过滤器
大气开放用过滤器
紧固扭矩:
0.6N·m
紧固扭矩:
0.9N·m