FX3_MaintenanceManual_Rev1_C - 第36页

Rev1.00 维修调整要领书 3-7 3-4-3 . 贴标签 请把标签脱脂后贴到贴标签部位 。 (图为 LF 、 RR 贴装头) LF 、 RR 贴装头与扎线的引出方向是相反的。密封标签请贴在正面可以看到的方向。 图 3-4-3 放大器的更换 ( 左 : 标签 / 右 : 贴了标签后 ) 3-4-4 . HMS 高度调整 在 CAL 部上移动 HMS 传感器, 传感器下面到 CAL 部上面的距离为 40±0.2mm 。 请拧松 2 处…

100%1 / 161
Rev1.00
维修调整要领书
3-6
3-4 HMS的更换
3-4-1 HMS头部的更换
1 先拆卸 cap(×2),再拆卸 HSM 头部。(图为 LFRR 贴装头用)
2 装配请按相反的步骤进行。
LRRF 贴装头也同样进行。
3-4-1 HMS 头部的更换
3-4-2 放大器的更换
1 把放大器部一边往下按一边往前拉拆卸放大器部分。(图为 LFRR 贴装头)
2 装配请按相反的步骤进行。
LRRF 贴装头也同样进行。
3-4-2 放大器的更换
cap(×2
放大器
Rev1.00
维修调整要领书
3-7
3-4-3 贴标签
请把标签脱脂后贴到贴标签部位(图为 LFRR 贴装头)
LFRR 贴装头与扎线的引出方向是相反的。密封标签请贴在正面可以看到的方向。
3-4-3 放大器的更换标签贴了标签后
3-4-4 HMS高度调整
CAL 部上移动 HMS 传感器,传感器下面到 CAL 部上面的距离为40±0.2mm请拧松 2 处的盖子,
调整到规定值。此时,FAR灯和NEAR灯均亮灯,请进行确认调整后,用 2 处的固定盖进行固定
调整后,请输入MS参数,HMS偏差值。输入请参照MS参数。
注意
为了防止对人体造成伤害,触摸屏、HOD 操作时,请勿将手伸进机器内,也不
要将脸和头部靠近机器。
FAR NEAR
40±0.2
CAL上面
带垫片内六角螺钉
(×2
CAL 部上面
透镜指示灯 点灯状态
NEAR/FAR 两灯都亮: 测定中心距离±1mm
NEAR 灯亮: 测定范围内近距离
FAR 灯亮: 测定范围内远距离
NEAR/FAR 两灯都不亮: 测定范围外
Rev1.00
维修调整要领书
3-8
3-5 贴装头电路板的更换
3-5-1 贴装头主电路板的更换
1 先拆下圆头螺钉(×6)、加紧器(×2),再拆卸主保护罩。
2 先拆下各种插头,然后拆下带垫片内六角螺钉(×6)后拆贴装头主电路板。
3 装配请按相反的步骤进行。
贴装头主电路板在出库时都是调整好的,所以不需要进行调整作业。
如有故障,请按照 QA 10-8 页“Head 真空电平以及温度传感器输出电平”进行检查。
3-5-1 贴装头主电路板的更换
圆头螺钉(×6
加紧器(×2
主保护罩
主保护罩
贴装头主电路板