FX3_MaintenanceManual_Rev1_C - 第37页

Rev1.00 维修调整要领书 3-8 3-5 . 贴装头电路板的更换 3-5-1 . 贴装头主电路板的更换 1 ) 先拆下 ① 圆头螺钉(× 6 )、 ② 加紧器(× 2 ),再拆卸主保护罩。 2 ) 先拆下各种插头,然后拆下 ② 带垫片内六角螺钉(× 6 )后拆贴装头主电路板。 3 ) 装配请按相反的步骤进行。 贴装头主电路板在出库时都是调整好的,所以不需要进行调整作业。 如有故障,请按照 QA 表 10-8 页“ Head 真空电…

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3-7
3-4-3 贴标签
请把标签脱脂后贴到贴标签部位(图为 LFRR 贴装头)
LFRR 贴装头与扎线的引出方向是相反的。密封标签请贴在正面可以看到的方向。
3-4-3 放大器的更换标签贴了标签后
3-4-4 HMS高度调整
CAL 部上移动 HMS 传感器,传感器下面到 CAL 部上面的距离为40±0.2mm请拧松 2 处的盖子,
调整到规定值。此时,FAR灯和NEAR灯均亮灯,请进行确认调整后,用 2 处的固定盖进行固定
调整后,请输入MS参数,HMS偏差值。输入请参照MS参数。
注意
为了防止对人体造成伤害,触摸屏、HOD 操作时,请勿将手伸进机器内,也不
要将脸和头部靠近机器。
FAR NEAR
40±0.2
CAL上面
带垫片内六角螺钉
(×2
CAL 部上面
透镜指示灯 点灯状态
NEAR/FAR 两灯都亮: 测定中心距离±1mm
NEAR 灯亮: 测定范围内近距离
FAR 灯亮: 测定范围内远距离
NEAR/FAR 两灯都不亮: 测定范围外
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3-8
3-5 贴装头电路板的更换
3-5-1 贴装头主电路板的更换
1 先拆下圆头螺钉(×6)、加紧器(×2),再拆卸主保护罩。
2 先拆下各种插头,然后拆下带垫片内六角螺钉(×6)后拆贴装头主电路板。
3 装配请按相反的步骤进行。
贴装头主电路板在出库时都是调整好的,所以不需要进行调整作业。
如有故障,请按照 QA 10-8 页“Head 真空电平以及温度传感器输出电平”进行检查。
3-5-1 贴装头主电路板的更换
圆头螺钉(×6
加紧器(×2
主保护罩
主保护罩
贴装头主电路板
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3-9
3-6 ZT驱动电路板的更换
3-6-1 ZT驱动电路板的更换
1 请参照 02 2-1 贴装头装置的更换和更换后的调整 2)、3)、9)、10)。
2 ZT 驱动支撑装置中拆下带垫片内六角螺钉(×8),然后请拆下 ZT 驱动电路板。
3 装配请按相反的步骤进行。
带垫片内六角螺钉
(×8
ZT 驱动电路板
3-6-1 驱动电路板更换
ZT 驱动支撑装置