FX3_MaintenanceManual_Rev1_C - 第46页

Rev1.00 维修调整要领书 5-1 危险 为了防止突然的起动造成事故,请关掉电源之后再进行操作。 5 基板传送装置 5-1 . 传送皮带的更换 1 ) 请松开传送皮带用张力挑帐皮带轮 。 (图中箭头部) 图 5-1-1 基板传送和传送皮带 2 ) 更换成表 5-1-1 货号的皮带。 3 ) 调整传送皮带的张力时, 先测定没有施加张力的皮带长度, 移动长孔部的传送皮带轮的位置, 让长 度增加 0.5 %。 <调整方法> 调整方法是,在…

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Rev1.00
维修调整要领书
4-7
4-6 OCC照明的光亮调整
<顺序>
手动控制,确认 OCC 照明亮灯。
进行 MS 参数的“OCC 光量调整
(「MS 参数」OCC 光量调整
4-7 更换后的重新调整一览
4-7-1 更换后的重新调整一览
镜头配件 照明配件
CCD 摄像机
镜头
照明
基板组件
镜头滤光片
焦点调整
滤光镜调整
OCC 光量调整(注)
OCC 偏差(注)
辅助 OCC 偏差(注)
共通标记调整(注)
头部偏差(注)
BMR 偏差(注)
HMS 偏差(注)
贴片综合偏差(注)
○:必须
△:确认
-:不需要
(注) 参考MS参数
注意
为了防止对人体造成伤害,触摸屏、HOD 操作时,请勿将手伸进机器内,也不
要将脸和头部靠近机器。
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维修调整要领书
5-1
危险
为了防止突然的起动造成事故,请关掉电源之后再进行操作。
5 基板传送装置
5-1 传送皮带的更换
1 请松开传送皮带用张力挑帐皮带轮(图中箭头部)
5-1-1 基板传送和传送皮带
2 更换成表 5-1-1 货号的皮带。
3 调整传送皮带的张力时,先测定没有施加张力的皮带长度,移动长孔部的传送皮带轮的位置,让长
度增加 0.5%。
<调整方法>
调整方法是,在传送轨道上用铅笔等以 200mm 的距离标上二个记号。
移动传送皮带轮,施加张力,让 2 个标记的距离变成 201mm
5-1-1(传送带货号)
IN/OUT
STATION JOINT
ST 传送延长 LW
货号 40046935 40046396 40046937 40046938
IN/OUT 轨道 S轨道 JOINT轨道
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5-2
5-2 传送皮带轮的更换
传送皮带轮有 2 种。变更安装位置,错误组装方法的话,皮带轮的转动变化,传送皮带轮的校准也变
坏,发生皮带磨损。
请参照各传送皮带轮的组装方法。
5-2-1 传送皮带轮组:E21117150A0
No. 数量
1 E2111715000 传送皮带轮 A 1
2 SB104000100 凸轮轴承 1
5-2-1 传送皮带轮
5-2-2 传送皮带轮B组:E20897210A0
No. 数量
1 E20897210000 传送皮带轮 B 1
2 SB104000100 凸轮轴承 2
5-2-2 传送皮带轮 B