FX3_MaintenanceManual_Rev1_C - 第76页
Rev1.00 维修调整要领书 9-4 9-3 . 数字压力开关(负压)的更换 1 ) 请确认真空泵未在运行。 2 ) 拆下螺钉两处取下保护罩 FSB_A (开闭保护罩), 请打开。 3 ) 从数字压力开关上拆下 φ 6 气管和连接器。 4 ) 旋转供料器开关支架 C 背面的树脂部件, 卸下数字 压力开关。 5 ) 装配时请按照相反的顺序进行。 9-3-1 . 数字压力开关(负压)的调整 更换数字压力开关后,请进行以下设置。 压力开关阈…

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9-3
9-2. 滤清器的更换
1) 以便把滑动部下降,以便把主体向左或右转动45度然后拔下来三。
2) 更换空气滤清器侧的滤清器B时,向左转动固定滤清器B的树脂零件就可以卸下来。
3) 更换微喷雾器侧的滤清器时,把滤清器向左转动就可以卸下来。
4) 安装时,请按照相反的程序进行。
注) 作业之前,请关闭蝶阀。
滤清器的寿命为 2 年或压力下降到 0.1MPa (1kgf/cm
2
) 后。
图 9-2-1 滤清器
空气滤清器
微喷雾器
滤清器B
滤清器
树脂零件
滑动部

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9-4
9-3. 数字压力开关(负压)的更换
1) 请确认真空泵未在运行。
2) 拆下螺钉两处取下保护罩 FSB_A(开闭保护罩),
请打开。
3) 从数字压力开关上拆下φ6 气管和连接器。
4) 旋转供料器开关支架 C 背面的树脂部件,卸下数字
压力开关。
5) 装配时请按照相反的顺序进行。
9-3-1. 数字压力开关(负压)的调整
更换数字压力开关后,请进行以下设置。
压力开关阈值 :0.400MPa
磁滞差动 :5.000MPa
显示色方式 :压力开关 ON 时为绿色
动作方式 :磁滞方式
压力开关输出形态 :正规开(超过阈值则 ON)
响应时间 :2.5ms 以下
自动预调设置 :手动设置
设置按下述步骤进行。
树脂固定座
供料器开关支架C
数字压力开关
正面側
护罩SB_A

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9-5
<设置步骤>
① 请持续按『SET』按钮 2 秒钟以上。显示变成右图所示,变为显示色设置方式。
② 请按『△』或『▽』按钮,假定显示为右图,按『SET』按钮。于是被设置为『SWON 时
绿色显示』。
③ 请确认显示已为右图,按『SET』按钮。被设置为『磁滞方式』。
④ 请确认显示已为右图,按『SET』按钮。被设置为『正规开动作』。
⑤ 请确认显示已为『 2.5』,按『SET』按钮。被设置为『响应时间 2.5ms 以下』。
⑥ 请确认显示已为右图,按『SET』按钮。被设置为『手动设置方式』。
⑦ 在此,显示指示数字,回到测定方式。
⑧ 请在测定方式的状态下按『SET』按钮。『 P
1』与数字被交替显示。
⑨ 在此,请按『△』或『▽』按钮。数字的最后一位闪烁。
⑩ 请按『△』或『▽』按钮,以『0』作为数字的最后一位,按『SET』按钮。其前面一位
闪烁。
11
请按『△』或『▽』按钮,以『0』作为在闪烁的位,按『SET』按钮。再移前一位闪烁。
12
请按『△』或『▽』按钮,以『4』作为在闪烁的位,按『SET』按钮。最前面一位闪烁。
13
请按『△』或『▽』按钮,使在闪烁的位变成右图所示,再按『SET』按钮。『阈值 0.400MPa』
14
『 H』与数字被交替显示,故请按『△』或『▽』按钮。数字的最后一位闪烁。
15
请按『△』或『▽』按钮,以『0』作为最后一位,再按『SET』按钮。其前面一位闪烁。
16
请按『△』或『▽』按钮,以『5』作为在闪烁的位,按『SET』按钮。再移前一位闪烁。
17
请按『△』或『▽』按钮,以『0』作为在闪烁的位,按『SET』按钮。最前面一位闪烁。
『▽』按钮
『SET』按钮
LCD显示
『△』按钮