FX3_MaintenanceManual_Rev1_C - 第78页
Rev1.00 维修调整要领书 9-6 9-4 ． 真空泵零件的更换 从使用开始每 3000 小时都要对表 1 的消耗零件进行定期点检，如果有异常发生，请参照下列顺序进行 更换、清洁。 表 1 消耗零件一览 点检位置 使用数量 点检内容 点检方法 吸气阀防止干涉橡胶 4 变形、磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视 吸·排气阀 12 变形、硬化、缺损的有无 目视 排气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视 皮碗式密封件 4 异常的磨…
Rev1.00
维修调整要领书
9-5
＜设置步骤＞
① 请持续按『SET』按钮 2 秒钟以上。显示变成右图所示，变为显示色设置方式。
② 请按『△』或『▽』按钮，假定显示为右图，按『SET』按钮。于是被设置为『SWON 时
绿色显示』。
③ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『磁滞方式』。
④ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『正规开动作』。
⑤ 请确认显示已为『 2.5』，按『SET』按钮。被设置为『响应时间 2.5ms 以下』。
⑥ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『手动设置方式』。
⑦ 在此，显示指示数字，回到测定方式。
⑧ 请在测定方式的状态下按『SET』按钮。『 P
1』与数字被交替显示。
⑨ 在此，请按『△』或『▽』按钮。数字的最后一位闪烁。
⑩ 请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为数字的最后一位，按『SET』按钮。其前面一位
闪烁。
11
请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。再移前一位闪烁。
12
请按『△』或『▽』按钮，以『4』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。最前面一位闪烁。
13
请按『△』或『▽』按钮，使在闪烁的位变成右图所示，再按『SET』按钮。『阈值 0.400MPa』
14
『 H』与数字被交替显示，故请按『△』或『▽』按钮。数字的最后一位闪烁。
15
请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为最后一位，再按『SET』按钮。其前面一位闪烁。
16
请按『△』或『▽』按钮，以『5』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。再移前一位闪烁。
17
请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。最前面一位闪烁。
『▽』按钮
『SET』按钮
LCD显示
『△』按钮
Rev1.00
维修调整要领书
9-6
9-4． 真空泵零件的更换
从使用开始每 3000 小时都要对表 1 的消耗零件进行定期点检，如果有异常发生，请参照下列顺序进行
更换、清洁。
表 1 消耗零件一览
点检位置 使用数量 点检内容 点检方法
吸气阀防止干涉橡胶 4 变形、磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
吸·排气阀 12 变形、硬化、缺损的有无 目视
排气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
皮碗式密封件 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
垫圈 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
吸气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
尼龙软管 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
消音器 1 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
○更换准备
1） 请确认①真空泵没有运转。
（因为稍微运转后就会变热所以请注意。）
2） 请打开后侧正面的开闭保护罩。
3） 取下与真空泵相连接的空气软管，用六角扳手拆下②的泵
支撑装置。
4） 把真空泵从主体中拆卸下来。（拆卸的时候要注意扎线。）
5） 打开端子箱保护罩，去除连接到端子台上的配线。
6） 用对边 5mm 的六角扳手拧松固定手柄的带六角孔
螺钉 M6×L16。
7） 去除手柄和板。
8） 将泵朝着纵向以便更换的贴装头向上来。
①
②
5） 去除配线
6） 拧松7）螺钉
Rev1.00
维修调整要领书
9-7
○贴装头保护罩的拆卸
1） 用六角扳手拧松固定贴装头保护罩的４根带六角孔螺钉 M6×L30 取下带六角孔螺钉。
2） 用两手把接头按在身前，从连接软管中拔出。此时，将左右的接头一点一点交互拔出。
3） 拔出连接软管拆下贴装头保护罩。
○汽缸的拆卸
1） 在拆卸汽缸之前先在盖子和汽缸上用油性笔做上标注。
2） 带上手套，然后把叶片往上旋转。（此时，一定要带手套）
3） 把汽缸从上面取出。
○压板、皮碗式密封件、吸气阀防止干涉橡胶的拆卸
1） 对照叶片标记部用油性笔对压板做标注。
2） 拧松压板的４根圆形小螺钉。
3） 拆卸压板以及皮碗式密封件。
4） 拆卸结束。
1） 拧松螺钉。
2） 用两手把接头按在身前。
3） 拆下贴装头保护罩。
1） 标注。
3） 从上面取出。
2） 向上旋转叶片。
2） 圆形小螺钉。
1） 标注。
3） 拆卸压板以及皮
碗式密封件。