JM-10_使用说明书 - 第469页
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 187 ③ 请设定检出 框。 按上下左右箭头 键 ( 使用 FAST 键可加速检出框的 移动速度 ) ，调整上、左 、下、右（按 顺序输入） ，设置检出框 。 此时，将自动识 别标记， 并获的校正所需 数据。 自动获得 标记周围 的干扰隔离级 别，并显 示在监视器上。 使用 HOD 的 ↑ 键、 ↓ 键 ( XY 移动上下箭头键 ) 进行调整 , 使标记清晰可见且周围 的 干扰 非常小…
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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4-5-2-11 标记的示教
对识别标记用的信息进行示教。
为识别标记，需要标记的极性(黑白区别)、标记的大小、标记的形状、阈值(为区别周围与标记
的明亮度判断基准值)、检出框的大小等5种信息。
(1) 基板标记的示教
<步骤>
① 将光标移动到示教对象数据的标记位置。
但进行识别的示教时，需预先输入标记的 X、Y 坐标。
图 4-5-2-11-1 基板标记示教(1)
② 请按 HOD 的 CAMERA 键。
摄像机会移动到标记的 XY 坐标上，监视器画面里则显示出示教对象(记忆的)的图案。
※当监视器画面上没有想示教的图案时，请检查输入的坐标是否正确。
※对于陶瓷基板标记(标记为白色)，检查后请再按下“CAMERA”。在此按摄像机键，
可切换极性（对比度）。
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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③ 请设定检出框。
按上下左右箭头键(使用 FAST 键可加速检出框的移动速度)
，调整上、左、下、右（按
顺序输入），设置检出框。
此时，将自动识别标记，并获的校正所需数据。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见且周围的干扰非常小。
调整结束后请按ENTER键。
显示摄象机图像和长方形的框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整后按 ENTER 键。
同样的，设定下面及右面的刻度框。
调整后按 ENTER 键。
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●
当标记识别不稳定时，请按下照明条件设定按钮，
设置照明条件
。
请在指定测定框的左上方前，先设置照明条件。
图 4-5-2-11-2 设置照明条件（面板）
图 4-5-2-11-3 设置照明条件（HOD）
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明类型。
图 4-5-2-11-4 设置照明类型
·按<应用>按钮可确认所设定的光量下的图像。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片 在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明类型，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检出框进行重新示教时，按下 HOD 的 NEXT 键即可
略过③的操作。
但在这种情况下，重新识别标记时，NEXT 键无效。