JM-10_使用说明书 - 第630页

第 2 部 功能详解篇 第 7 章 手动控制 7- 22 (3) 控制按钮 用控制按钮来执 行控制项 目。 选择控制项目后 ,按 [ 执行 (E)] 按钮或按下 [F3] 键进行控制 。 1) 初始化 将基板传送初始 化。 2) 基板传 送 根据定位方式中 所指定的 方式搬入基板。 3) 基板搬 出 将基板搬出。 4) 解除基 板固定 释放基板。 5) 基板重 新固定 按定位方式指定 的方式, 重新加紧送通道 上的基板 。 (4) 状态…

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2 功能详解篇 7 手动控制
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7-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择控制(C/「传送C/自动控制传送(A),则显示如下的自动
控制传送画面。
7-4-2-2-1 自动控制传送
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
7-4-2-2-2 控制项
(2) 定位方式
定位方式仅限于外形基准
7-4-2-2-3 定位方
2 功能详解篇 7 手动控制
7-22
(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后,按[执行(E)]按钮或按下[F3]键进行控制
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板传
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬
将基板搬出。
4) 解除基板固定
释放基板。
5) 基板重新固定
按定位方式指定的方式,重新加紧送通道上的基板
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。
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7-4-3 图像
7-4-3-1 VCS 控制
从菜单栏选择「控制(C)」/「图像(V)」/VCS 制(C)」后,会显示如下的 VCS
制画面。
7-4-3-1-1 VCS 控制
(1) 控制单元
用按下式按钮,选择控制对象单元。
不受机器设置的“使用单元”设置的影响
(不使用的单元也可选择
(2) 控制项目
用按下式按钮,选择控制项目。
不受机器设置的“使用单元”设置的影响
(不使用的单元也可选择