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1 104-004 Fig. D1 UNIT I/O ASS Y P AR TS(Fig. D1-1 Key No.24-50) 09141 100 09141A0U 09141E00 09141300 0914140R 0914150J UNDER FRAME ASSY UNIT(Fig. D5-5) UNIT(Fig. D2-1) UNIT(Fig. D2-1) UNIT(Fig. D2-2) UNIT(Fig.D3-1 - 14)…
09141C0D
UNDER FRAME UNIT 1
09141C0E
UNDER FRAME UNIT 2
BREAKER ASSY
FAN F ASSY
NOISE FILTER ASSY
PARTS(Fig. D1-1 Key No.5-17)
PARTS(Fig. D1-2 Key No.101-110)
P
ARTS(Fig. D1-2 Key No.111-125)
P
ARTS(Fig. D1-3 Key No.221-247)
PAR
TS(Fig. D1-3 Key No.251-265)
PARTS(Fig. D1-4 Key No.304-314)
PARTS(Fig. D1-4 Key No.325-334)
PARTS(Fig. D1-5 Key No.424-460)
F
AN R ASS
Y
UNIT I/O ASSY
TERMINAL 2 ASSY
PARTS(Fig. D1-1 Key No.24-50)
09141100
09141A0U
09141A0G
09141A01
09141A02
I/F BOARD ASSY
PARTS(Fig. D1-3 Key No.201-218)
09141A00
09141A03
09141A04
09141A05
09141A06
09141E00
09141300
0914140R
0914150J
UNDER FRAME ASSY
UNIT(Fig. D5-5)
UNIT(Fig. D2-1)
UNIT(Fig. D2-1)
UNIT(Fig. D2-2)
UNIT(Fig.D3-1 - 14)
UNIT(Fig. D3-4)
UNIT(Fig. D5-2)
UNIT(Fig. D5-2)
UNIT(Fig. D5-2)
UNIT(Fig. D5-3)
UNIT(Fig. D5-3)
UNIT(Fig. D5-4)
09141102
09141103
0914110L
09141105
09141106
AIR SUP ASSY 1
VACUUM PUMP
AIR SUP ASSY 2
VALVE ASSY 2
VALVE ASSY 1
09141200
AIR PIPING
RELAY PNL L ASSY
RELAY PNL R ASSY
FRMAE(L) ELEC
BA ASSY
CPU1 ASSY
CPU2 ASSY
DC POWER ASSY
09141700
UNIT(Fig. D4-1 - 2)
Fig. D1-A2
全体図２
PARTS LAYOUT-2
1104-004
Fig. D1
電装部１
ELECTRICAL SECTION 1
UNIT-3
Fig. D1
ELEC1
1104-004
Fig. D1
UNIT I/O ASSY
PARTS(Fig. D1-1 Key No.24-50)
09141100
09141A0U
09141E00
09141300
0914140R
0914150J
UNDER FRAME ASSY
UNIT(Fig. D5-5)
UNIT(Fig. D2-1)
UNIT(Fig. D2-1)
UNIT(Fig. D2-2)
UNIT(Fig.D3-1 - 14)
UNIT(Fig. D3-4)
UNIT(Fig. D5-2)
UNIT(Fig. D5-2)
UNIT(Fig. D5-2)
UNIT(Fig. D5-3)
UNIT(Fig. D5-3)
UNIT(Fig. D5-4)
09141102
09141103
0914110L
09141105
09141106
AIR SUP ASSY 1
VACUUM PUMP
AIR SUP ASSY 2
VALVE ASSY 2
VALVE ASSY 1
09141200
AIR PIPING
FRMAE(L) ELEC
BA ASSY
CPU1 ASSY
CPU2 ASSY
Fig. D1-A2
UNIT-3
Fig. D1
ELEC1
See Fig. D1-3
Key No.201
See Fig. D1-2
Key No.111
See Fig. D1-4
Key No.325
See Fig. D1-5
Key No.441
See Fig. D1-3
Key No.221
See Fig. D1-3
Key No.241
See Fig. D1-4
Key No.304
14
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5
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30
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50
48
49
50
46
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47
46
41
47
46
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42
40
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24
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33
36
32
Fig. D1-1
固定ネジ
Fixed Screw
1104-003
Fig. D1
電装部１
ELECTRICAL SECTION 1
UNIT-3
Fig. D1
ELEC1