FX-2_2C维修手册- - 第95页
维修调整要领书 9-3 Rev1.0 1） 在让滑动部分下降的同时，或左 或右回转主体 45 度并拔下。 2） 左回转并卸下固定空气过滤侧的过 滤器件 B 的树脂部件 ，同时能卸下过滤器件 B 并进行更换。 3） 左回转烟分离器侧的过滤器件 A， 取下来进行更换。 4） 按照相反的顺序进行安装。 在进行操作之前，先关闭蝶阀。 到过滤器件的寿命 2 年或者压力下降到 0. 1MPa（1kgf/cm 2 ）时进…
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9-2
Rev1.0
１）显示模式和磁滞模式的设定
① 持续按 2 秒钟以上。显示变为 。（变为显示颜色设定模式）
② 用 或 使成为 的显示，按 。（以 SW ON 设定为緑色显示）
③ 用 或 使成为 的显示，按 。（变为磁滞设定模式）
④ 用 或 使成为 的显示，按 。（设定为正常开启动作）
⑤ 用 或 使成为 的显示，按 。（响应时间设定为 2.5ms 以下）
⑥ 用 或 使成为 的显示，按 。（设定为手动设置模式）
⑦ 在此，显示出现数字，回到测定模式。
２）测量标准的设定（阈值和磁滞）
① 请在测定模式的状態下按 。 和当前的阈值将交替显示。
② 如按 或 ，数字的最后位闪烁，持续按住则数值增加或減小。
③ 如按 ，正在闪烁的数位向右迁移。
④ 请通过②、③的操作使显示成为 ，按 键 2 秒钟以上。（阈值设定为 0.400MPa）
⑤ 和当前的设定值将交替显示。请按 。
⑥ 和当前的磁滞将交替显示。
⑦ 如按 或 ，数字的最后位闪烁，持续按住则数值增加或減小。
⑧ 如按 ，正在闪烁的数位向右迁移。
⑨ 请通过⑥和⑧操作使显示成为 ，按 键 2 秒钟以上。（磁滞设定为 0.050MPa）
⑩ 到此已回到测定模式。设定到此结束。
『△』按钮 『▽』按钮
LED显示
『SET』按钮
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9-3
Rev1.0
1）在让滑动部分下降的同时，或左或右回转主体 45 度并拔下。
2）左回转并卸下固定空气过滤侧的过滤器件 B 的树脂部件，同时能卸下过滤器件 B 并进行更换。
3）左回转烟分离器侧的过滤器件 A，取下来进行更换。
4）按照相反的顺序进行安装。
在进行操作之前，先关闭蝶阀。
到过滤器件的寿命 2 年或者压力下降到 0.1MPa（1kgf/cm
2
）时进行更换。
烟分离器
空气过滤器
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9-4
Rev1.0
1）请确认真空泵未在运行。
2）请取下护罩 FB。
3）请从真空计上取下φ６空气管。
4）旋转真空计背面的树脂部件，卸下真空计。
5）装配时请按照相反的顺序进行。
树脂固定部件
真空计
面板