FX-2_2C维修手册- - 第98页
维修调整要领书 10-1 Rev1.0 SW1 联机 标准 - SW2 初始 标准 - SW3 开始 标准 标准 SW4 停止 标准 标准 SW5 伺服自由 标准 标准 SW6 循环 标准 标准 SW7 设置 EN方法 - SW8 紧急 标准 标准 SW9 储料可能 选项 选项 SW…
维修调整要领书
9-5
1）请确认真空泵未在运转。（刚运转后，请注意高温。）
2）拆下内有真空泵的护罩。（4 处螺钉）
3）请用六角扳手拆下真空泵的正面树脂护盖。（2 处螺钉）
4）请用六角扳手拆下过滤器护罩。（2 处螺钉）
5）请从过滤器护罩的凹部取出 PUMPFILTER，进行更换。【图 2】
6）请用六角扳手拆下帽盖。（3 处螺钉）
7）请从旋转部的槽中拔出 PUMPBLADE，进行更换。
※更换要 7 片一起进行，每片都要注意装配的方向。【图 3、4】
8）安装时请按相反顺序进行。
过滤器
树脂护盖
过滤器护罩
帽盖
叶片（×7）
Rev1.0
维修调整要领书
10-1
Rev1.0
SW1 联机 标准 -
SW2 初始 标准 -
SW3 开始 标准 标准
SW4 停止 标准 标准
SW5 伺服自由 标准 标准
SW6 循环 标准 标准
SW7 设置 EN方法 -
SW8 紧急 标准 标准
SW9 储料可能 选项 选项
SW10 F/R选择 选项 选项
维修调整要领书
10-2
Rev1.0
① L180E321000 开关面板OP 1
② HX00354000D 线路板柱式螺栓12 4
③ 40012050 操作开关PCBASM 1
④ HX00354000H 线路板柱式螺栓12.5 4
⑤ HA005520030 平面型25mmφ铝合金 4
⑥ HA005340020 开关变换器 6
⑦ HA00534006A LED绿 2
⑧ HA005340060 LED橙 2
⑨ HA00552001B 平面型照光透镜25mmφ绿 3
⑩ HA00552001A 平面型照光透镜25mmφ黄 2
⑪ HA005520010 平面型照光透镜25mmφ红 1
⑫ HA00534004A 带保护罩的面板型套壳25mmφ 2
⑬ E1326715000 “紧急”标签 1
⑭ L833E7210A0 紧急开关ASM 1