SER04989020_YVL88II Service_J - 第218页
5- 8 SER04989020 電源接続部･その他 第 5 章 2 2.2 DI 識別 役割 NA01 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA02 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA03 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA04 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA05 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA06 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA07 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA08 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA09 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ NA10 LAM-ｲ…
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SER04989020
電源接続部･その他
第
5
章
2
識別 役割
TH01 ﾍｯﾄﾞ1 吸着
TH02 ﾍｯﾄﾞ2 吸着
TH08 ﾍｯﾄﾞ ｼﾘｱﾙ通信OK
TJ01 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1
TJ02 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2
TJ03 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3
TJ04 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4
TJ05 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5
TJ06 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6
TJ07 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7
TJ08 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ8
TJ09 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ1
TJ10 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ2
TJ11 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ3
TJ12 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ4
TK01 ﾌﾞｻﾞｰ
TK02 青/ 黄色ﾗﾝﾌﾟ
TK03 白/ 赤色ﾗﾝﾌﾟ
TK04 緑/ 緑色ﾗﾝﾌﾟ
TK05 基板要求信号
TK07 ｶﾊﾞｰﾛｯｸ
TK08 BA OUT(SMEMA)
TK10 LAMP11(SINGLE CAMERA 1）点灯
TK11 LAMP12(SINGLE CAMERA 2）点灯
TL01 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ作動
TL02 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 逆転
TL03 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 低速
TL04 ﾊﾞｯﾌｧｺﾝﾍﾞｱ 高速
TL05 前側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ上昇
TL07 前側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ前進
TL08 前側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ後退
TM01 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ1
TM02 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ2
TM03 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ3
TM04 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ4
TM05 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ5
TM06 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ6
TM07 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ7
TM08 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ﾃﾞｰﾀ8
TM09 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ1
TM10 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ2
TM11 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ3
TM12 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ ｾﾚｸﾄ4
TN01 ﾒｲﾝｽﾄｯﾊﾟｰ
TN02 ﾌﾟﾚｰﾄﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ
TN03 ﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1
TN04 ｴｯｼﾞｸﾗﾝﾌﾟ
TN05 ﾌﾟｯｼｭｲﾝ
TN06 入口ｽﾄｯﾊﾟｰ
識別 役割
TN12 ｺﾝﾍﾞｱ 反転
TN13 ｺﾝﾍﾞｱ 作動
TN14 ｺﾝﾍﾞｱ 低速
TP01 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ上昇
TP02 前側ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝｸﾗﾝﾌﾟ
TP05 後側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ上昇
TP06 後側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ下降
TP07 後側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ前進
TP08 後側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ後退
TQ01 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾊﾟﾚｯﾄﾎｰﾑ
TQ02 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ前進
TQ03 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ CLOSE
TQ04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾊﾟﾚｯﾄｾｯﾄ
TQ05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰﾌｯｸ 後退
TQ06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ08 外部ﾄﾚｲ ｺﾝﾍﾞｱ 作動
TQ09 外部ﾄﾚｲ ｺﾝﾍﾞｱ 逆転
TQ10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ-1ﾛｯｸ
TQ11 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ-2ﾛｯｸ
TQ12 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱｰ1ﾗｲﾄ点灯
TQ13 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱｰ2ﾗｲﾄ点灯
TQ14 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ15 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TQ16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ｻｰﾎﾞｵﾝ
TR01 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｽﾃｰｼｮﾝ1 吸着
TR02 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｽﾃｰｼｮﾝ2 吸着
TR03 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｽﾃｰｼｮﾝ3 吸着
TR04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR11 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR12 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR13 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ 吸着
TR14 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
TR15 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ 下降
TR16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
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電源接続部･その他
第
5
章
2
2.2 DI
識別 役割
NA01 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA02 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA03 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA04 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA05 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA06 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA07 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA08 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA09 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA10 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA11 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA12 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA13 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA14 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA15 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NA16 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB01 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB02 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB03 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB04 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB05 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB06 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB07 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB08 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB09 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB10 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB11 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB12 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB13 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB14 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB15 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NB16 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC01 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC02 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC03 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC04 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC05 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC06 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC07 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC08 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC09 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC10 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC11 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC12 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC13 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC14 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC15 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NC16 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
識別 役割
ND01 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND02 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND03 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND04 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND05 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND06 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND07 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND08 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND09 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND10 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND11 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND12 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND13 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND14 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND15 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ND16 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE01 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE02 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE03 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE04 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE05 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE06 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE07 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE08 LAM-ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
NE09 Ｘ軸原点
NE10 ﾍｯﾄﾞ1 上昇端
NE11 ﾍｯﾄﾞ1 Ｒ軸原点
NE12 ﾍｯﾄﾞ2 上昇端
NE13 ﾍｯﾄﾞ2 Ｒ軸原点
NE14 Ｘ軸ﾘﾐｯﾄ
NF09 ライト２ ﾎﾟｼﾞｼｮﾝﾗｲﾄ
NF10 ライト２ ﾎﾟｼﾞｼｮﾝﾚﾌﾄ
NF11 ﾋﾞｰﾑｾﾝｻｰ
NF15 基板判別
NF16 +24V OK
NG01 ﾍｯﾄﾞ1 下降端
NG02 ﾍｯﾄﾞ2 下降端
NH01 HEAD1 吸着判定
NH02 HEAD2 吸着判定
NH09 HEAD1 装着判定
NH10 HEAD2 装着判定
NJ01 Ｙ軸原点
NJ04 ﾘﾚｰ予備
NJ05 Ｙ軸ﾘﾐｯﾄ
NJ08 前側一括交換ﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ浮き検出
NJ09 ﾌﾙｷｰﾎﾞｰﾄﾞ無効 ｻｰﾋﾞｽｷｰ
NJ10 前側ﾌｨｰﾀﾞｰ浮き検出
NJ11 前側ｴﾘｱｾﾝｻｰ
NJ12 基板搬出許可(GATE IN)
NJ13 ｶﾊﾞｰEMG解除(ｻｰﾋﾞｽｷｰ)
NJ14 ｺﾝﾀｸﾀｰ OK
NJ15 ｶｳﾝﾄﾘｾｯﾄ
NJ16 使用不可
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電源接続部･その他
第
5
章
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識別 役割
NK09 前側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰ操作ＳＷ検出
NK10 前側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ上昇端検出
NK11 前側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ前進端検出
NL01 入口ｽﾄｯﾊﾟｰ1基板検出
NL02 ｺﾝﾍﾞｱ入口基板検出
NL03 ｺﾝﾍﾞｱ出口基板検出
NL04 入口ｽﾄｯﾊﾟｰ2基板検出
NL05 廃棄ｽﾃｰｼｮﾝ
NL07 使用不可
NL08 使用不可
NL09 基板固定位置基板検出
NL10 ﾌﾟﾚｰﾄﾌﾟｯｼｭｱｯﾌﾟ上昇端
NL11 ﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ1 上昇端
NL12 ﾛｹｰﾄﾋﾟﾝ2 上昇端
NL14 ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ ｸﾗﾝﾌﾟ確認
NM02 Ｗ軸原点
NM05 2次ﾘﾐｯﾄ 予備
NM08 後側一括交換ﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ浮き検出
NM09 ｴｱｰ圧力ﾀﾞｳﾝ検出
NM10 後側ﾌｨｰﾀﾞｰ浮き検出
NM11 後側ｴﾘｱｾﾝｻｰ
NM14 SMEMA DISCRIMINATION
NM15 SMEMA BA IN
NN01 ﾉｽﾞﾙ 1
NN02 ﾉｽﾞﾙ 2
NN03 ﾉｽﾞﾙ 3
NN04 ﾉｽﾞﾙ 4
NN05 ﾉｽﾞﾙ 5
NN06 ﾉｽﾞﾙ 6
NN07 ﾉｽﾞﾙ 7
NN08 ﾉｽﾞﾙ 8
NN09 ﾉｽﾞﾙ 9
NN10 ﾉｽﾞﾙ 10
NN11 ﾉｽﾞﾙ 11
NN12 ﾉｽﾞﾙ 12 SENSOR
NN13 ﾉｽﾞﾙ 13
NN14 ﾉｽﾞﾙ 14
NN15 ﾉｽﾞﾙ 15
NN16 ﾉｽﾞﾙ 16
NP01 後側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰ操作ＳＷ検出
NP02 後側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ上昇端検出
NP03 後側ﾉﾝｽﾄｯﾌﾟﾌｨｰﾀﾞｰﾌﾟﾚｰﾄ前進端検出
NP07 使用不可
NP08 使用不可
NP14 前側ﾉｽﾞﾙｽﾃｰｼｮﾝ ｸﾗﾝﾌﾟ確認
NQ01 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾊﾟﾚｯﾄ原点
NQ02 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ OPEN
NQ03 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ CLOSE
NQ04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾊﾟﾚｯﾄ ｽﾃｰｼﾞ ｾｯﾄ
NQ05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ（ﾘﾚｰ予備)
NQ06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ1 ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
識別 役割
NQ09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ2 ｲﾝﾀｰﾛｯｸ
NQ10 ﾏｶﾞｼﾞﾝ1 入(外部ﾄﾚｲ), ﾗｯﾁ開
NQ11 ﾏｶﾞｼﾞﾝ2 入(外部ﾄﾚｲ), ﾗｯﾁ閉
NQ12 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ ﾋﾞｰﾑｾﾝｻｰ
NQ13 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ 吸着
NQ14 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 予備
NQ15 外部ﾄﾚｲ ﾍｯﾄﾞ 下降端
NQ16 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 基板判別 CONVEYOR
NR01 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｰｽﾃｰｼｮﾝ1 吸着
NR02 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｰｽﾃｰｼｮﾝ2 吸着
NR03 外部ﾄﾚｲ ﾄﾗﾊﾞｰｻｰｽﾃｰｼｮﾝ3 吸着
NR04 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ安全確認（Z 軸移動）
NR05 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ 前進
NR06 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾌｯｸ 後退
NR07 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ 基板判別
NR08 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ +24V OK
NR09 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ1 ｽｲｯﾁ
NR10 ﾄﾚｲﾁｪﾝｼﾞｬｰ ﾄﾞｱ2 ｽｲｯﾁ
NR11 外部ﾄﾚｲ ｺﾝﾍﾞｱ 入口
NR12 外部ﾄﾚｲ 基板検出
NR13 外部ﾄﾚｲ ｺﾝﾍﾞｱ 出口
NR14 外部ﾄﾚｲ 自動/手動切替
NR15 外部ﾄﾚｲ 基板ﾁｪｯｸ OK
NR16 外部ﾄﾚｲ W 軸原点