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3- 13 SER04989020 調整 第 3 章 1 ■ 真空発生の確認 20443102-00 ノズル e 参考 真空発生が正常にON/OFFしない場合は、出力モニターを使わずに、次のように確認してくださ い。 ・ 非常停止ボタンが押されていることを確認します。 ・ 先のとがった小型ドライバーなどで真空発生器の手動ボタンを押して、真空発生させます。 この操作で正常に動作すれば、真空発生器の電気的不具合が考えられます。 以下の点を…
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調整
第
3
章
1
1.1 ヘッドの真空発生系の確認
ヘッドの真空発生動作の確認方法を説明します。
1.1.1 真空発生動作の確認
ヘッド1 および 2 の真空発生動作の確認方法を説明します。また、真空発生器
の発生真空度を測定することで、メンテナンス（清掃または交換）の必要性が判
断できます。あらかじめ、元圧が適正値（本章の「5. 空圧装置」参照）になっ
ていることを確認し、適当なエアチューブと真空ゲージを用意してください。
e
1
非常停止ボタンを押します。
2
出力モニタ−画面を開き、対象ヘッドを選択します。
1.「3/4/C1 出力モニター」を選択実行します。
2. 矢印キーを使って、カーソルを「ヘッド吸着」欄の「TH01∼2」に合わ
せます。
6A043012-00
[↑↓←→]で選択し [Enter]で実行
[ESC]:中断,ｺﾏﾝﾄﾞｳｨﾝﾄﾞｳﾍ
出力ﾓﾆﾀｰ 指定ｱｰﾑ
軸移動速度
TH01
本機
100
通常 0
ﾍｯﾄﾞ吸着
TH01-08 10000000
名 称 名 称OUT
IN
ﾍｯﾄﾞ1 吸着
XY軸:
:
/吸着 1
3
[ENTER]キーを押して、対象ヘッドの真空発生をさせます。
出力モニター表示は、真空発生時に "1" に変わります。
4
真空発生を確認します。
対象ヘッドのノズル先端開口部に指を当てて、実際に吸着が発生していること
を確認します。
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調整
第
3
章
1
■ 真空発生の確認
20443102-00
ノズル
e
参考
真空発生が正常にON/OFFしない場合は、出力モニターを使わずに、次のように確認してくださ
い。
・ 非常停止ボタンが押されていることを確認します。
・ 先のとがった小型ドライバーなどで真空発生器の手動ボタンを押して、真空発生させます。
この操作で正常に動作すれば、真空発生器の電気的不具合が考えられます。
以下の点を調べてください。
コネクタ接続間違い、電磁コイル断線、ハーネスコネクタ緩み、DC24V異常、
I /Oボード出力異常･･･
また、手動ボタンを押しても正常に動作しない場合は、エア供給、配管（エアチューブ接続）、お
よびピペット弁機能の不具合（破損・異物噛み込み・固着）が考えられます。エア回路も調べてく
ださい。
■ 真空発生器
20443103-01
ヘッド1真空発生器
ヘッド2真空発生器
手動ボタン
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第
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章
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ヘッド部分のエア漏れ（真空度低下）をチェックします。
下図のように、「タイプ32」ノズルとエアチューブをノズルホルダー部に継ぎ
足してから真空ゲージを接続して、真空度（mmHg）を測定してください。真
空度が-500mHg 以上であれば正常です。
■ 真空ゲージ接続例
20443104-00
タイプ32 ノズル
エアチューブ
真空ゲージ
参考
真空ゲージで測定した結果が -500mmHg 以下になる場合は、真空発生経路（ノズルシャフト、エ
アホースなど）の汚れ、またはノズル詰まりが考えられます。上記以外の場合は、真空発生装置の
機能低下が考えられます。