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D4 預防性保養 7 4 個月保養 20 06 年 6 月中文版 45 一定要遵守 ES D 眳規定。 7 7 7 O 蓋上送料器區，以保護送料器模組和取置頭的前端部件。 7 (1 ) 打開應變消除裝置。 (2 ) 鬆開排線上的夾爪。 (3 ) 拉出兩條排線。 7 (4 ) 取下取置頭前面的 4 顆螺絲 （使用 3 mm 六角套筒扳手） ，將前端部件拆下。 擰下螺絲時，需要緊握住取置頭的前端部件。 7 小心，不要碰到真空分配器。 7 7…
7 4 個月保養 D4 預防性保養
2006 年 6 月中文版
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D4 預防性保養 7 4 個月保養
20 06 年 6 月中文版
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一定要遵守 ESD 眳規定。
7
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O 蓋上送料器區，以保護送料器模組和取置頭的前端部件。
7
(1) 打開應變消除裝置。
(2) 鬆開排線上的夾爪。
(3) 拉出兩條排線。
7
(4) 取下取置頭前面的 4 顆螺絲 （使用 3 mm 六角套筒扳手），將前端部件拆下。
擰下螺絲時，需要緊握住取置頭的前端部件。 7
小心，不要碰到真空分配器。 7
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星形軸轉半圈，以免損毀閥門推桿的驅動裝置。 7
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O 將取置頭的前端部件放在軟的 ES D 表面上 （使用下側的閥門推桿）或者放置在適當支架上。
O 移除光柵盤，並放置在提供的容器中。
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