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9 保養光柵盤 D4 預防性保養 20 06 年 6 月中文版 72 9 保養光柵盤 9
D4 預防性保養 8 年度保養
20 06 年 6 月中文版
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檢查保護蓋 8
(1) 打開保護蓋到高度為 10 0 m m (+/-5mm) ，測量取置機機架和保護蓋邊緣。 如果阻尼氣缸保護
蓋無法一直在此高度上維持開啟狀態，請更換新的阻尼氣缸。
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O 關上保護蓋。
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清潔保護蓋 8
O 檢查保護蓋的有機玻璃表面是否乾淨。
O 必要時，請用無棉絮的乾布清潔。
如果表面很髒，請用抹布蘸上無水乙醇浸濕擦乾淨。
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在清潔保護蓋時，請小心用力，以避免損壞 ESD 泡沫。 8
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O 在生產線的每個取置機上重覆這些過程。
O 重新開啟取置機上的主開關。
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保養段位器光柵盤，需要下列工具和耗材。 9
– 實驗室手套
– 無水乙醇
– 無棉絮布料
– 無棉絮棉棒
–Microtips（棉棒）
– 1.1 mm 鑽頭
–1.4mm 鑽頭
– Fin Grease 噴霧式潤滑脂
– UNISILKON L250L
– 虹吸板
SIPLACE 段位器光柵盤保養：
12 段位器 / 取置頭 （零件號碼：00375681-01）。 9
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(1) 檢查薄膜是否損壞。
如果薄膜損壞，請將此段位器光柵盤送到 SIPLACE 段位器光柵盤維修站進行維修。
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(2) 向適合的容器中噴洒少許 Teflon 潤滑脂。
用 Teflon 潤滑脂潤濕無棉絮棉棒。
不可使用噴劑直接噴灑 Te fl on 潤滑脂，以免噴灑過多，損壞取置頭。
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請僅使用無水乙醇清潔。 不可使用消毒酒精，否則，增量盤上會出現污點。 9
請勿使用矽溶劑清潔劑。 9
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(3) 用略微蘸濕的脫脂棉棒沿防轉動元件的連桿進行擦拭。
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(4) 檢查切換圈在光柵盤中是否可以輕鬆移動。
移動的裝置不可急動或急停。
否則，如果潤滑後仍無法平順運作，應將此段位器光柵盤送至 SIPLACE 段位器光柵盤維修站
維修。