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D4 預防性保養 9 保養光柵盤
20 06 年 6 月中文版
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(1) 順時針轉動長真空孔內的 1. 4 m m 鑽頭以清除髒物。
轉動鑽頭，清除孔內的髒物。
(2) 利用 1. 1 m m 鑽頭清除橫向真空孔內的髒物。
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執行此項操作時，請戴上實驗室手套。 9
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(3) 檢查虹吸板是否損毀。
如果損毀，應更換。
(3) 用乾的無棉絮布料清潔段位器光柵盤虹吸板。
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(1) 用沾有無水乙醇的無棉絮布料清潔段位器光柵盤的邊緣。
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(2) 用沾有無水乙醇的無棉絮布料清潔段位器光柵盤的光學尺。
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(3) 用沾有無水乙醇的無棉絮布料清潔段位器光柵盤的軸。
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(4) 用蘸有無水乙醇的脫脂棉棒小心清潔球狀收集盤的邊緣。
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