NXT partlist - 第14页
CONTENTS 目次 7. PARTS SUPPLY 7. 部品供給 7.1. DEVICE PALLET 7.1. デバイスパレット 7.1.1. M3S-DEVICE BASE ………………………………………………………… … 16 7.1.1. M3S- デバイス ベース………………………………………… … 16 7.1.2. M3S-DEVICE PALLET ……………………………………………………… … 22 7.1.2.…

CONTENTS 目次
6. CONVEYOR 6. コンベア
6.1. SINGLE CONVEYOR 6.1. シングルコンベア
6.1.1. M3S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
…
16 6.1.1. M3S-シングルコンベア…………………………………………
…
16
6.1.2. M6S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
…
54 6.1.2. M6S-シングルコンベア…………………………………………
…
54
6.1.3. M6S-SINGLE CONVEYOR S…………………………………………………
…
94 6.1.3. M6S-シングルコンベア S………………………………………
…
94
6.2. DOUBLE CONVEYOR 6.2. ダブルコンベア
6.2.1. M3S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
…
118 6.2.1. M3S-ダブルコンベア……………………………………………
…
118
6.2.2. M6S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
…
180 6.2.2. M6S-ダブルコンベア……………………………………………
…
180
6.3. BACK-UP PINS 6.3. バックアップピン
6.3.1. M3S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
…
222 6.3.1. M3S-自動バックアップピン……………………………………
…
222
6.3.2. M6S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
…
224 6.3.2. M6S-自動バックアップピン……………………………………
…
224
6.3.3. M6S-AUTO BACK-UP PINS(SINGLE CONVEYOR S)………………………… 226 6.3.3. M6S-自動バックアップピン(シングルコンベア S)…………
…
226
6.3.4. SOFT BACK-UP PINS………………………………………………………
…
228 6.3.4. ソフトバックアップピン………………………………………
…
228
6.4. BACK UP PLATE 6.4. バックアップ プレート
6.4.1. M3S-BACK UP PLATE………………………………………………………
…
230 6.4.1. M3S-バックアップ プレート…………………………………
…
230
6.4.2. M6S-BACK UP PLATE………………………………………………………
…
234 6.4.2. M6S-バックアップ プレート…………………………………
…
234
6.5. PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION 6.5. 基板停止位置補正機能
6.5.1. M3S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION…………………………… 236 6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
236
6.5.2. M6S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION…………………………… 238 6.5.2. M6S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
238
6.6. ROLLER CONVEYOR 6.6. ローラ搬送コンベア
6.6.1. M3S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)……………………………… 240 6.6.1. M3S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
240
6.6.2. M3S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)……………………………… 242 6.6.2. M3S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
242
6.6.3. M6S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)……………………………… 244 6.6.3. M6S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
244
6.6.4. M6S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)……………………………… 246 6.6.4. M6S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
246

CONTENTS 目次
7. PARTS SUPPLY 7. 部品供給
7.1. DEVICE PALLET 7.1. デバイスパレット
7.1.1. M3S-DEVICE BASE…………………………………………………………
…
16 7.1.1. M3S-デバイス ベース…………………………………………
…
16
7.1.2. M3S-DEVICE PALLET………………………………………………………
…
22 7.1.2. M3S-デバイス パレット………………………………………
…
22
7.1.3. M3S-DEVICE PALLET(PALLET WITH BUCKET)……………………………
…
28 7.1.3. M3S-デバイス パレット(バケット付きパレットタイプ)…
…
28
7.1.4. M3S-DEVICE PALLET GUIDE………………………………………………
…
34 7.1.4. M3S-デバイスパレットガイド…………………………………
…
34
7.1.5. M6S-DEVICE BASE…………………………………………………………
…
36 7.1.5. M6S-デバイスベース……………………………………………
…
36
7.1.6. M6S-DEVICE PALLET………………………………………………………
…
44 7.1.6. M6S-デバイス パレット………………………………………
…
44
7.1.7. M6S-DEVICE PALLET(PALLET WITH BUCKET)……………………………
…
50 7.1.7. M6S-デバイス パレット(バケット付きパレットタイプ)…
…
50
7.1.8. M6S-DEVICE PALLET GUIDE………………………………………………
…
58 7.1.8. M6S-デバイスパレットガイド…………………………………
…
58
7.2. TRAY UNIT-L 7.2. トレイユニット-L
7.2.1. TRAY UNIT-L SHIFTER …………………………………………………… 60 7.2.1. トレイユニット-L シフタ部 …………………………………
…
60
7.2.2. TRAY UNIT-L TOWER ……………………………………………………… 76 7.2.2. トレイユニット-L タワー部 …………………………………
…
76
7.2.3. TRAY UNIT-L COVER ……………………………………………………… 102 7.2.3. トレイユニット-L カバー部 …………………………………
…
102
7.2.4. TRAY UNIT-L BODY ………………………………………………………
…
106 7.2.4. トレイユニット-L 本体部 ……………………………………
…
106
7.2.5. TRAY UNIT-L REJECT PARTS CONVEYOR ………………………………… 116 7.2.5. トレイユニット-L 部品排出コンベア部 ……………………
…
116
7.2.6. TRAY UNIT-L TRAY PALLET ……………………………………………… 120 7.2.6. トレイユニット-L トレイパレット部 ………………………
…
120
7.2.7. TRAY UNIT-L PNEUMATIC CIRCUIT DIAGRAM …………………………… 124 7.2.7. トレイユニット-L エアー配管図 ……………………………
…
124
7.2.8. TRAY UNIT-L REMOVER ……………………………………………………
…
128 7.2.8. トレイユニット-L リムーバ …………………………………
…
128
7.3. WASTE TAPE PROCESSING UNIT 7.3. 残テープ処理ユニット
7.3.1. M3S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT……………………………………… 136 7.3.1. M3S-残テープ処理ユニット……………………………………
…
136
7.3.2. M3S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS……………………… 140 7.3.2. M3S-残テープ処理ユニット ダクト…………………………
…
140
7.3.3. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT……………………………………… 144 7.3.3. M6S-残テープ処理ユニット……………………………………
…
144
7.3.4. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS……………………… 148 7.3.4. M6S-残テープ処理ユニット ダクト…………………………
…
148
7.3.5. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS(for TRAY UNIT)…
…
152 7.3.5. M6S-残テープ処理ユニット ダクト(トレイユニット用)…
…
152
7.3.6. WASTE TAPE BOX…………………………………………………………… 156 7.3.6. 残テープボックス………………………………………………
…
156
7.4. TRAY UNIT-M…………………………………………………………………………
…
158 7.4. トレイユニット-M…………………………………………………………
…
158

8. ACCESSORIES 8. アクセサリ
8.1. MCU--MODULE CHANGEOVER UNIT--…………………………………………………
…
194 8.1. MCU--モジュール交換台車--……………………………………………
…
194
8.2. PANEL STAND…………………………………………………………………………
…
218 8.2. パネルスタンド……………………………………………………………
…
218
8.3. TRAY PALLET STAND…………………………………………………………………
…
220 8.3. トレイパレットスタンド…………………………………………………
…
220
8.4. SPLICING TAPE STAND………………………………………………………………
…
222 8.4. スプライシングテープスタンド…………………………………………
…
222
8.5. MSU--MODULE STORAGE UNIT--……………………………………………………
…
226 8.5. MSU--モジュール置き台--………………………………………………
…
226
8.6. PCU--PALLET CHANGE UNIT-- 8.6. PCU--デバイスパレット交換台車--
8.6.1. PCU…………………………………………………………………………
…
230 8.6.1. PCU…………………………………………………………………
…
230
8.6.2. PCU(PALLETS WITH BUCKET)………………………………………………
…
248 8.6.2. PCU(バケット付きパレット用)………………………………
…
248
8.7. PSU--PALLET STORAGE UNIT-- 8.7. PSU--デバイスパレット置き台--
8.7.1. M3S-PSU……………………………………………………………………
…
262 8.7.1. M3S-PSU……………………………………………………………
…
262
8.7.2. M6S-PSU……………………………………………………………………
…
272 8.7.2. M6S-PSU……………………………………………………………
…
272
9. OTHERS 9. その他
9.1. OTHERS…………………………………………………………………………………
…
282 9.1. その他 ……………………………………………………………………
…
282