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- 38 - REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 400-7618 6 CAL BLOCK SUB ASM ＣＡＬ ブロックサブ組 1 2 400-7611 7 CAL BASE(FX-2) ＣＡＬ ベース（ＦＸ −２） (1) 3 SL-60620 92-TN SCREW M6 L=20 座金付き六角穴ボルト (2) 4 400-7611 8 CAL PLATE ＣＡ…
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19.CAL BLOCK COMPONENTS
ＣＡＬ ブロック関係
3
5
6
7
8
9
11
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2
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28
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45
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37
18
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35
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REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-76186 CAL BLOCK SUB ASM
ＣＡＬ ブロックサブ組
1
2 400-76117 CAL BASE(FX-2)
ＣＡＬ ベース（ＦＸ −２）
(1)
3 SL-6062092-TN SCREW M6 L=20
座金付き六角穴ボルト
(2)
4 400-76118 CAL PLATE
ＣＡＬ プレート
(1)
5 SM-1051452-TN PLATE SCREW
皿ねじ Ｍ ５ Ｌ ＝１４
(2)
6 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハ−フユニオン
(1)
7 L202E-521-000 CAL SIDE COVER
ＣＡＬ サイドカバー
(1)
8 SM-6030602-TN HEX SCREW M3 X 6
六角穴ボルト Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝６
(2)
9 L202E-621-000 CAL DIFFUSER
ＣＡＬ ディフューザー
(1)
10 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
(2)
11 400-07376 CAL BLOCK PCB ASM
ＣＡＬ ブロック基板組
(1)
12 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝６
(2)
13 E2061-760-000 SHIM A
シム Ａ
(1)
14 E2062-760-000 SHIM B
シム Ｂ
(1)
15 E2063-760-000 SHIM C
シム Ｃ
(1)
16 BT-0400251-EB URETHANE HOSE, BLACK
ウレタンホ−ス 黒
(0.3)
17 400-76167 VAC CAL UNIT
ＶＡＣ ＣＡＬ ユニット
1
18 400-99557 VAC_CAL_PLATE
バキューム ＣＡＬ プレート
(1)
19 HX-0035400-0E BOARD PARTS
基板パーツ
(1)
20 HX-0035400-0D BASE PARTS
基板パーツ
(1)
21 HX-0041800-0D SPACER
スペーサ
(1)
22 SL-4030691-SC SCREW M3 L=6
座金付きなべ小ねじ Ｍ ３ Ｌ ＝６
(1)
23 SM-1030552-TN SCREW M3 L=5
皿ねじ Ｍ ３ Ｌ ＝５
(1)
24 EA-9500B01-00 CABLE BAND
束線バンド
(1)
25 NM-6030001-SC NUT M3
六角ナット Ｍ ３ Ｘ ０．５ １種
(1)
26 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(1)
27 L202E-921-0A0 NOZZLE CAL PIECE ASM
ノズルキャルピース組
(1)
28 L203E-121-000 NOZZLE CAL PIECE OUTER SP
ノズルキャルピーススプリング
(1)
29 L202E-921-000 NOZZLE CAL PIECE
ノズルキャルピース
(1)
30 NM-6050001-SC NUT M5
六角ナット Ｍ ５ Ｘ ０．８ １種
(1)
31 400-02126 CAL VCUM SENS ASM
ＣＡＬ バキュームセンサ組
(1)
32 L203E-021-000 NOZZLE CAL PIECE OUTER
ノズルキャルピースアザー
(1)
33 400-99558 VAC_CAL_BRACKET
バキューム ＣＡＬ ブラケット
(1)
34 SM-4030401-SC SCREW M3X0.5 L=4
なべ小ねじ Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝４
(4)
35 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｌ ＝８
(2)
36 SM-6030602-TN SCREW M3X6
六角穴ボルト Ｍ ３ Ｘ ６
(1)
37 400-76175 CAL VCUM SV UNIT
ＣＡＬ バキューム ＳＶ ユニット
1
38 PJ-3040605-02 ELBOW UNION 6XM5
エルボユニオン ６ ＸＭ ５
(1)
39 PJ-3040405-04 ELBOW UNION
エルボユニオン
(1)
40 L202E-821-000 CAL VACUUM SV STAY
ＣＡＬ バキューム ＳＶ ステー
(1)
41 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(1)
42 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ ３ Ｘ ０．５ Ｌ ＝６
(1)
43 EA-9500B01-00 CABLE BAND
束線バンド
(1)
44 400-02125 CAL VCUM SV ASM
ＣＡＬ バキューム ＳＶ 組
(1)
45 400-78772 CHIP BOX STAND
チップボックススタンド
2
46 SM-0061201-SC SCREW
トラスねじ Ｍ ６ Ｌ ＝１２
4
47 SL-6051292-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
2
48 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
2
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20.ATC COMPONENTS (1)
ＡＴＣ 関係（１）
42
4
5
6
2
3
1
83
84
80
63
64
60
61
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72
71
71
69
70
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75
52
47
45
A
A
51
48
49
50
46
54
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55
56
56
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57
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59
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19
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7
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34
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9
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25
22
29
29
27
17
B
B
31
32
30
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26
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40
39
38
77
76