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- 80 - REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 L185E-021-0A0 HOD ASSEMBLY ＨＯＤ 組 1 2 400-64061 TFT LIQUID CRYSTAL MONITOR ASM ＴＦＴ 液晶モニター組 (1) 3 L838E-321-0A0 HOD EMG SW ASM ＨＯＤ ＥＭＧ ＳＷ 組 (1) 4 L185E-521-000 HOD…
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40.HOD COMPONENTS
ＨＯＤ 関係
1
2
3
4
6
5
- 80 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 L185E-021-0A0 HOD ASSEMBLY
ＨＯＤ 組
1
2 400-64061 TFT LIQUID CRYSTAL MONITOR ASM
ＴＦＴ 液晶モニター組
(1)
3 L838E-321-0A0 HOD EMG SW ASM
ＨＯＤ ＥＭＧ ＳＷ 組
(1)
4 L185E-521-000 HOD EMG SEAL
ＨＯＤ ＥＭＧ シール
(1)
5 L185E-621-000 HOD PANEL SHEET
ＨＯＤ パネルシート
(1)
6 TA-0750404-R0 PLUG D=7.5 L=3.5
止栓 Ｄ ＝７．５ Ｌ ＝３．５
(1)
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41.VACUUM PUMP UNIT (M/C REV.A)
真空ボンプユニット（マシン ＲＥＶ．Ａ）
3
5
6
8
2
9
10
11
12
16
17
17
4
18
20
20
19
22
22
22
22
11
28
23
25
29
26
30
27
21
31
A
A
7
24
1
32
33
34