FX-2-Rev03.pdf - 第87页
- 82 - REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 400-76190 VACUUM PUMP UNIT バキュームポンプユニット 1 2 400-76121 VACUUM PUMP バキュームポンプ (1) 3 400-7612 2 VP BASE ＶＰ ベース (1) 4 400-7612 3 VP ADJUST FOOT ＶＰ アジャストフット (4) 5 400-…
- 81 -
41.VACUUM PUMP UNIT (M/C REV.A)
真空ボンプユニット（マシン ＲＥＶ．Ａ）
3
5
6
8
2
9
10
11
12
16
17
17
4
18
20
20
19
22
22
22
22
11
28
23
25
29
26
30
27
21
31
A
A
7
24
1
32
33
34
- 82 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-76190 VACUUM PUMP UNIT
バキュームポンプユニット
1
2 400-76121 VACUUM PUMP
バキュームポンプ
(1)
3 400-76122 VP BASE
ＶＰ ベース
(1)
4 400-76123 VP ADJUST FOOT
ＶＰ アジャストフット
(4)
5 400-76124 VP COVER
ＶＰ カバー
(1)
6 400-76125 HALF UNION
ハーフユニオン
(1)
7 400-76126 PARTITION ELBOW
パーティションエルボ
(1)
8 400-76127 ELBOW BR
エルボ ＢＲ
(1)
9 400-78777 CARRIER RAIL L54
キャリアレール Ｌ ５４
(1)
10 400-76106 RUBBER BUSH
ラバーブッシュ
(1)
11 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(4)
12 HK-0691900-0B BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(2)
13 HK-0696500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(3)
14 HK-0693500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
15 HK-0696900-00 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
16 HK-0696900-0A BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
17 HM-0003300-30 FAN GUARD
ファンガード
(2)
18 400-77081 VAC PUMP FAN ASM
バキュームポンプファン組
(1)
19 400-80318 VACUUM PUMP FG CABLE ASM
バキュームポンプ ＦＧ ケーブル組
(1)
20 SL-3061232-TN SCREW
座金付き丸ねじ Ｍ ６ Ｌ ＝１２
(4)
21 SL-4033591-SC SCREW M3X35
セムスねじ
(2)
22 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ ４ Ｌ ＝８
(7)
23 SL-4041091-SC SCREW M4 L=10
なべ小ねじセムス Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝１０
(2)
24 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
25 SL-6063592-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト Ｍ ６ Ｌ ＝３５
(4)
26 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝６
(2)
27 NM-3034000-SF FLANGE NUT
フランジナット Ｍ ３
(2)
28 NM-6040001-SC NUT M4
六角ナット Ｍ ４
(2)
29 NM-6060001-SC NUT M6
六角ナット Ｍ ６ １種
(4)
30 NM-6100001-SC NUT M10X1.5
六角ナット Ｍ １０ １種
(4)
31 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
32 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハ−フユニオン
1
33 400-78779 PUMP FILTER
ポンプフィルタ
1
34 400-78778 PUMP BLADE SET
ポンプブレードセット
1
- 83 -
42.VACUUM PUMP UNIT (AFTER M/C REV.B)
真空ボンプユニット（マシン ＲＥＶ．Ｂ 以降）
7
9
11
15
21
21
17
20
20
A
A
6
33
1
23
24
25
8
10
30
22
19
4
2
22
22
28
16
26
27
29
31
32
5
3
34
35
18
36