FX-2-Rev03.pdf - 第88页
- 83 - 42. VACUUM PUMP UNIT (AFTER M/C REV.B) 真空ボンプユニット（マシン ＲＥＶ．Ｂ 以降） 7 9 11 15 21 21 17 20 20 A A 6 33 1 23 24 25 8 10 30 22 19 4 2 22 22 28 16 26 27 29 31 32 5 3 34 35 18 36
- 82 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-76190 VACUUM PUMP UNIT
バキュームポンプユニット
1
2 400-76121 VACUUM PUMP
バキュームポンプ
(1)
3 400-76122 VP BASE
ＶＰ ベース
(1)
4 400-76123 VP ADJUST FOOT
ＶＰ アジャストフット
(4)
5 400-76124 VP COVER
ＶＰ カバー
(1)
6 400-76125 HALF UNION
ハーフユニオン
(1)
7 400-76126 PARTITION ELBOW
パーティションエルボ
(1)
8 400-76127 ELBOW BR
エルボ ＢＲ
(1)
9 400-78777 CARRIER RAIL L54
キャリアレール Ｌ ５４
(1)
10 400-76106 RUBBER BUSH
ラバーブッシュ
(1)
11 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(4)
12 HK-0691900-0B BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(2)
13 HK-0696500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(3)
14 HK-0693500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
15 HK-0696900-00 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
16 HK-0696900-0A BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
17 HM-0003300-30 FAN GUARD
ファンガード
(2)
18 400-77081 VAC PUMP FAN ASM
バキュームポンプファン組
(1)
19 400-80318 VACUUM PUMP FG CABLE ASM
バキュームポンプ ＦＧ ケーブル組
(1)
20 SL-3061232-TN SCREW
座金付き丸ねじ Ｍ ６ Ｌ ＝１２
(4)
21 SL-4033591-SC SCREW M3X35
セムスねじ
(2)
22 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ ４ Ｌ ＝８
(7)
23 SL-4041091-SC SCREW M4 L=10
なべ小ねじセムス Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝１０
(2)
24 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
25 SL-6063592-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト Ｍ ６ Ｌ ＝３５
(4)
26 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝６
(2)
27 NM-3034000-SF FLANGE NUT
フランジナット Ｍ ３
(2)
28 NM-6040001-SC NUT M4
六角ナット Ｍ ４
(2)
29 NM-6060001-SC NUT M6
六角ナット Ｍ ６ １種
(4)
30 NM-6100001-SC NUT M10X1.5
六角ナット Ｍ １０ １種
(4)
31 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
32 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハ−フユニオン
1
33 400-78779 PUMP FILTER
ポンプフィルタ
1
34 400-78778 PUMP BLADE SET
ポンプブレードセット
1
- 83 -
42.VACUUM PUMP UNIT (AFTER M/C REV.B)
真空ボンプユニット（マシン ＲＥＶ．Ｂ 以降）
7
9
11
15
21
21
17
20
20
A
A
6
33
1
23
24
25
8
10
30
22
19
4
2
22
22
28
16
26
27
29
31
32
5
3
34
35
18
36
- 84 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-03780 VACUUM PUMP UNIT
バキュームポンプユニット
1
2 400-63490 VACUUM_PUMP
真空ポンプ
(1)
3 401-02712 VP_BASE
ＶＰ ベース
(1)
4 400-76123 VP ADJUST FOOT
ＶＰ アジャストフット
(4)
5 401-02713 VP_COVER
ＶＰ カバー
(1)
6 400-76126 PARTITION ELBOW
パーティションエルボ
(1)
7 400-76127 ELBOW BR
エルボ ＢＲ
(1)
8 401-02714 CARRIER_RAIL_L45
キャリアレール Ｌ ４５
(1)
9 400-76106 RUBBER BUSH
ラバーブッシュ
(1)
10 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(2)
11 HK-0691900-0B BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(2)
12 HK-0696500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(3)
13 HK-0693500-10 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
14 HK-0696900-00 BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
15 HK-0696900-0A BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(1)
16 401-02718 VAC PUMP FAN ASM
バキュームポンプファン組
(1)
17 400-80318 VACUUM PUMP FG CABLE ASM
バキュームポンプ ＦＧ ケーブル組
(1)
18 PJ-3011200-01 REDUCER
レジューサ
(1)
19 NM-6100001-SC NUT M10X1.5
六角ナット Ｍ １０ １種
(4)
20 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ ４ Ｌ ＝８
(3)
21 SL-3061232-TN SCREW
座金付き丸ねじ Ｍ ６ Ｌ ＝１２
(4)
22 400-47386 CABLE_CLAMP_RUBBER_Y
ケーブルクランプラバー Ｙ
(2)
23 400-70387 PUMP_SUPPORT
ポンプサポート
(1)
24 SL-6061292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(2)
25 WP-0841601-SC WASHER 8.4X17.4X1.6
平座金みがき丸 Ｍ ８
(2)
26 HM-0010100-10 FAN FILTER
ファンフィルタ
(1)
27 SL-4033591-SC SCREW M3X35
セムスねじ
(2)
28 NM-3034000-SF FLANGE NUT
フランジナット Ｍ ３
(2)
29 CM-3001000-05 VOLTAGE WARNING LABEL (75)
危険電圧警告シール（７５）
(1)
30 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝６
(2)
31 EA-9002B11-00 BUSHING L
自在ブッシュ Ｌ
(0.052)
32 HX-0022300-0A BUSHING
ブッシュ
(0.015)
33 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
34 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
35 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハーフユニオン
1
36 400-68178 VACUUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT
バキュームポンプメンテナンスキット
1