YSi-X_Ope_C - 第17页
CPM6186120 总目录 序言 1. 本书的使用方法 i 手册的构成与主要内容 i 2. 各章内容 ii 3. 页面构成 iii 第 1 章 各部的名称与功能 1. YSi-X 检查机 1-1 2. 传送装置 1-5 3. 激光高度感应器 1-6 4. 轴的组成 1-7 第 2 章 基本操作 1. 操作前须知事项 2-1 1.1 解除紧急停机的方法 2-1 1.2…

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4.本书中的安全标示
为防止操作人员和其他工作人员发生安全事故,防止设备发生故障或受到损坏,必须遵守各项安全事项,以防患
于未然。本书中以“警告”、“注意”介绍这些必须遵守的安全事项,并以“要点”、“参考”介绍操作机器以及作
业时的必知内容或有帮助的参考内容。
■ 警告语
w
警告
警告语,是对可能会导致死亡或重伤的错误操作进行标示。
它是为保障设备的操作、点检、维修等人员的安全而标示的最为重要的安全注意事项。
■ 注意语
c
注意
注意语,是对可能会导致身体受伤或设备受损的错误操作进行标示。
它是为防止设备及程序等被损坏的重要注意事项。
■ 要点
n
要点
简洁明了地介绍操作机器的必知事项、操作方法与步骤等内容。
■ 参考
参考
介绍对作业有帮助的参考内容。
■ 紧急停机
e
有该标记的作业,必须在紧急停机状态下进行。

CPM6186120
总目录
序言
1. 本书的使用方法 i
手册的构成与主要内容 i
2. 各章内容 ii
3. 页面构成 iii
第 1 章 各部的名称与功能
1. YSi-X 检查机 1-1
2. 传送装置 1-5
3. 激光高度感应器 1-6
4. 轴的组成 1-7
第 2 章 基本操作
1. 操作前须知事项 2-1
1.1 解除紧急停机的方法 2-1
1.2 清除错误警告的方法 2-1
2. 开机与关机 2-2
2.1 开机 2-2
2.2 关机 2-5
第 3 章 日常作业
1. 概要 3-1
2. 暖机运行 3-2
3. 检查程序的选择 3-3
第 4 章 维护保养
作业前 4-1
1. 保持机器的性能 4-2
1.1 必备条件与环境条件 4-2
1.2 定期点检与清洁的重要性 4-2
2. 维护保养项目一览 4-3

3. 维护保养作业前的准备 4-5
3.1 易耗件 4-5
3.2 维护保养工具 4-6
3.2.1 清洁工具 4-6
3.2.2 加油工具、润滑油 4-7
3.3 必备工具 4-8
3.4 背面中央盖板的拆卸方法 4-9
4. 每周 4-10
4.1 相机照明的清洁 4-10
4.2 确认基板传感器的状态 4-12
4.3 确认基板夹的状态、动作 4-12
5. 每月 4-13
5.1 各轴的点检 4-13
5.2 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-14
5.2.1 XT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-14
5.2.2 XT 轴导轨的清洁与加油 4-16
5.2.3 YT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-17
5.2.4 YT 轴导轨的清洁与加油 4-18
5.2.5 LX 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-19
5.2.6 LX 轴导轨的清洁与加油 4-20
5.2.7 LY 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-21
5.2.8 LY 轴导轨的清洁与加油 4-22
5.3 基板传送带的点检与清洁 4-23
5.4 基板传送带的张力检查 4-25
5.5 X 射线发生装置的点检 4-27
6. 3 个月 4-29
6.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-29
6.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-29
6.1.2 W 轴导轨的清洁与加油 4-31
6.1.3 MS 轴导轨的清洁与加油 4-33
6.2 气、雾过滤器的点检与清洁 4-34
7. 6 个月 4-36
7.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-36
7.1.1 HZ 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-36
7.1.2 HZ 轴导轨的清洁与加油 4-38
7.1.3 HS 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-39
7.1.4 HS 轴导轨的清洁与加油 4-40
7.2 控制箱过滤网的清洁 (TypeHD、TypeHB) 4-41
8. 易耗件的更换方法 4-42
8.1 基板传送带的更换 4-42
8.2 UPS ( 不间断电源 ) 蓄电池的更换 4-44