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第 5 章 加油位置一览 1. 加油之前的准备 5-1 1.1 润滑油 5-1 1.2 润滑油枪 5-1 2. 各轴部的加油 5-2 2.1 XT、YT 轴导轨与滚珠丝杆 5-2 2.2 LX 轴导轨与滚珠丝杆 5-3 2.3 LY 轴导轨与滚珠丝杆 5-4 2.4 W 轴导轨与滚珠丝杆 5-5 2.5 MS 轴导轨 5-6 2.6 HZ、HS 轴导轨与滚珠丝杆 5-7 附录 1. 电源连接部 A-1 2.…
3. 维护保养作业前的准备 4-5
3.1 易耗件 4-5
3.2 维护保养工具 4-6
3.2.1 清洁工具 4-6
3.2.2 加油工具、润滑油 4-7
3.3 必备工具 4-8
3.4 背面中央盖板的拆卸方法 4-9
4. 每周 4-10
4.1 相机照明的清洁 4-10
4.2 确认基板传感器的状态 4-12
4.3 确认基板夹的状态、动作 4-12
5. 每月 4-13
5.1 各轴的点检 4-13
5.2 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-14
5.2.1 XT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-14
5.2.2 XT 轴导轨的清洁与加油 4-16
5.2.3 YT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-17
5.2.4 YT 轴导轨的清洁与加油 4-18
5.2.5 LX 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-19
5.2.6 LX 轴导轨的清洁与加油 4-20
5.2.7 LY 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-21
5.2.8 LY 轴导轨的清洁与加油 4-22
5.3 基板传送带的点检与清洁 4-23
5.4 基板传送带的张力检查 4-25
5.5 X 射线发生装置的点检 4-27
6. 3 个月 4-29
6.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-29
6.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-29
6.1.2 W 轴导轨的清洁与加油 4-31
6.1.3 MS 轴导轨的清洁与加油 4-33
6.2 气、雾过滤器的点检与清洁 4-34
7. 6 个月 4-36
7.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-36
7.1.1 HZ 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-36
7.1.2 HZ 轴导轨的清洁与加油 4-38
7.1.3 HS 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-39
7.1.4 HS 轴导轨的清洁与加油 4-40
7.2 控制箱过滤网的清洁 (TypeHD、TypeHB) 4-41
8. 易耗件的更换方法 4-42
8.1 基板传送带的更换 4-42
8.2 UPS ( 不间断电源 ) 蓄电池的更换 4-44
第 5 章 加油位置一览
1. 加油之前的准备 5-1
1.1 润滑油 5-1
1.2 润滑油枪 5-1
2. 各轴部的加油 5-2
2.1 XT、YT 轴导轨与滚珠丝杆 5-2
2.2 LX 轴导轨与滚珠丝杆 5-3
2.3 LY 轴导轨与滚珠丝杆 5-4
2.4 W 轴导轨与滚珠丝杆 5-5
2.5 MS 轴导轨 5-6
2.6 HZ、HS 轴导轨与滚珠丝杆 5-7
附录
1. 电源连接部 A-1
2. 机器间输入、输出用接口 A-2
3. UPS( 不间断电源 ) A-3
3.1 安全注意事项 A-3
3.1.1 UPS 的运输与出口注意事项 A-3
3.1.2 报废蓄电池的处理方法 A-3
3.1.3 其它使用上的注意事项 A-3
3.2 UPS 的使用 A-5
3.3 操作与设置 A-6
3.3.1 正面控制面板 A-6
3.3.2 通常情况下的操作 ( 电源正常时 ) A-6
3.3.3 发生停电时的操作 A-6
3.4 维护保养 A-7
3.4.1 蓄电池的更换时间 A-7
3.4.2 蓄电池的更换 A-7
3.4.3 备用蓄电池的保管 A-7
3.5 故障查找 A-8
4. 有关 X 射线发生装置的注意事项 A-10
4.1 X 射线发生装置的热机运行 A-10
4.2 X 射线发生装置的保护功能 A-10
索引
