YSi-X_Ope_C - 第32页
第 2 章 基本操作 目录 1. 操作前须知事项 2-1 1.1 解除紧急停机的方法 2-1 1.2 清除错误警告的方法 2-1 2. 开机与关机 2-2 2.1 开机 2-2 2.2 关机 2-5
1-7
1
4.轴的组成
下面，介绍 YSi-X 检查机的伺服电机所控制的轴的组成与轴的运行方向。
YT轴
MS轴
HZ轴
LY轴
LX轴
HS轴
XT轴
正方向
负方向
基板
传送轨
传送工作台
轴的组成
传送方向： 以右→左传送基板为例
W轴
HL轴
X射线源
光学相机
X射线相机
X射线相机工作台
激光高度感应器
挡板单元
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■ 各轴的功能
轴名 功能
XT 轴 沿传送基板的方向平行移动传送工作台 ( 基板 )。
YT 轴 沿垂直于传送基板的方向移动传送工作台 ( 基板 )。
W 轴 调节传送宽度。
MS 轴 根据传送的基板大小 ( 长度 ) 移动挡板的位置。
HZ 轴 调节 X 射线源与基板的距离。(X 射线变焦拍摄用 )
HS 轴 使 X 射线源下降时移动光学相机。( 使 X 射线变焦拍摄用相机退避时使用 )
LX 轴 沿传送基板的方向平行移动 X 射线探测器。
LY 轴 沿垂直于传送基板的方向移动 X 射线探测器。
HL 轴 使激光高度感应器转动。
2-1
2
1.操作前须知事项
操作检查机之前，需了解解除检查机紧急停机状态的方法与清除错误警告的方法。
1.1 解除紧急停机的方法
下面，介绍解除检查机的紧急停机状态的方法。
1
确认周边安全。
为保障解除紧急停机状态之后的运行能在安全状态下进行，需确认周边是否安全。
2
将紧急停机按钮旋至原位。
紧急停机按钮被按下时，只需将紧急停机按钮向右旋转便可解除紧急停机状态。
3
按 [READY] 按钮。
[READY] 按钮亮灯，伺服进入使能状态。
[READY]按钮
[READY]按钮
25200-M6-00
1.2 清除错误警告的方法
如果发生错误，蜂鸣器会鸣响报警，警告画面会显示。此时，需按照下列步骤清除错误警告。
1
关闭蜂鸣器。
按画面的 [ 关闭警报 ] 按钮，关闭蜂鸣器。
错误警告画面
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2
确认错误内容。
记录错误警告画面中显示的错误内容，并按照该内容进行检查。
3
清除错误警告画面。
清除错误警告内容之后，按画面中的 [OK] 按钮，关闭错误警告画面。