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3-2 3 2. 暖机运行 启动检查机之后，首先需进行暖机运行。 n 要点 暖机运行的时间为 15 分钟左右。但，如果完成上次生产 2 小时之内再开机时，可以省略暖机运行。 1 完成作业前的点检之后，启动检查机。 关于作业前的点检项目与启动检查机的方法，请参照前述第 2 章“2.1 开机” 。 2 开始暖机运行。 c 注意 开始暖机运行之前，请务必确认传送轨上没有基板。 1. 按“基板切换”画面中的 [ 暖机运行 ] 按钮，打开“…
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1.概要
本章，按照下图所示的流程介绍检查基板时操作人员需进行的日常作业。
启动检查机
根据需要自动进行
“第2章 基本操作”
“第3章 日常作业”
别册《YSi 程序设计手册》的
第1章“ 2. 开始检查与结束检查”
“第2章 基本操作”
进行作业前的点检
进行暖机运行
切换检查程序
调节传送宽度
检查与前次相同的基板吗？
结束检查
开始检查
(自动检查)
关闭电源
日常作业的操作流程
YES
NO
旋转检查程序
进行X射线发生装置的热机运行
25300-M6-00
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2.暖机运行
启动检查机之后，首先需进行暖机运行。
n
要点
暖机运行的时间为 15 分钟左右。但，如果完成上次生产 2 小时之内再开机时，可以省略暖机运行。
1
完成作业前的点检之后，启动检查机。
关于作业前的点检项目与启动检查机的方法，请参照前述第 2 章“2.1 开机”。
2
开始暖机运行。
c
注意
开始暖机运行之前，请务必确认传送轨上没有基板。
1. 按“基板切换”画面中的 [ 暖机运行 ] 按钮，打开“暖机运行”画面。
2. 按 [ 开始 ] 按钮，开始暖机运行。
n
要点
需要指定暖机时间时，按 [ 定时暖机 ] 按钮之后输入暖机运行的时间。
“基板切换”画面
暖机运行
[暖机运行]按钮
26300-M6-00
c
注意
在暖机运行过程中，如果发生异常，请按 [ 停止 ] 按钮中断运行，并查明原因进行解决。
3
结束暖机运行。
按 [ 停止 ] 按钮，结束暖机运行。暖机运行只需 15 分钟左右即可。
指定了暖机时间时，只要完成了指定时间的暖机运行，检查机就会自动停止运行。
4
按 [ 关闭 ] 按钮，返回“基板切换”画面。
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3
3.检查程序的选择
从已创建的检查程序列表中选择准备检查的基板用的检查程序。
1
打开切换检查程序的画面。
按 [ 基板切换 ] 按钮，打开切换检查程序的画面。
2
从检查程序列表中选择检查的基板用的检查程序。
在“基板切换”画面的程序列表中选择检查程序之后，按 [ 读入程序 ] 按钮 ；也可以直接用鼠标双击程序
列表内选定的行。
选择检查程序
读入的检查程序名
基板示意图
选择检查程序
1
[读入程序]按钮
26301-M6-00
3
确认读入的检查程序。
确认状态栏里显示的检查程序名是否与选定的检查程序名一致。画面左下部显示的基板示意图是否与准备
检查的基板一致。