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3-3 3 3. 检查程序的选择 从已创建的检查程序列表中选择准备检查的基板用的检查程序。 1 打开切换检查程序的画面。 按 [ 基板切换 ] 按钮，打开切换检查程序的画面。 2 从检查程序列表中选择检查的基板用的检查程序。 在“基板切换”画面的程序列表中选择检查程序之后，按 [ 读入程序 ] 按钮 ； 也可以直接用鼠标双击程序 列表内选定的行。 选择检查程序 读入的检查程序名 基板示意图 选择检查程序 1 [读入程序]按钮 26…
3-2
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2.暖机运行
启动检查机之后，首先需进行暖机运行。
n
要点
暖机运行的时间为 15 分钟左右。但，如果完成上次生产 2 小时之内再开机时，可以省略暖机运行。
1
完成作业前的点检之后，启动检查机。
关于作业前的点检项目与启动检查机的方法，请参照前述第 2 章“2.1 开机”。
2
开始暖机运行。
c
注意
开始暖机运行之前，请务必确认传送轨上没有基板。
1. 按“基板切换”画面中的 [ 暖机运行 ] 按钮，打开“暖机运行”画面。
2. 按 [ 开始 ] 按钮，开始暖机运行。
n
要点
需要指定暖机时间时，按 [ 定时暖机 ] 按钮之后输入暖机运行的时间。
“基板切换”画面
暖机运行
[暖机运行]按钮
26300-M6-00
c
注意
在暖机运行过程中，如果发生异常，请按 [ 停止 ] 按钮中断运行，并查明原因进行解决。
3
结束暖机运行。
按 [ 停止 ] 按钮，结束暖机运行。暖机运行只需 15 分钟左右即可。
指定了暖机时间时，只要完成了指定时间的暖机运行，检查机就会自动停止运行。
4
按 [ 关闭 ] 按钮，返回“基板切换”画面。
3-3
3
3.检查程序的选择
从已创建的检查程序列表中选择准备检查的基板用的检查程序。
1
打开切换检查程序的画面。
按 [ 基板切换 ] 按钮，打开切换检查程序的画面。
2
从检查程序列表中选择检查的基板用的检查程序。
在“基板切换”画面的程序列表中选择检查程序之后，按 [ 读入程序 ] 按钮 ；也可以直接用鼠标双击程序
列表内选定的行。
选择检查程序
读入的检查程序名
基板示意图
选择检查程序
1
[读入程序]按钮
26301-M6-00
3
确认读入的检查程序。
确认状态栏里显示的检查程序名是否与选定的检查程序名一致。画面左下部显示的基板示意图是否与准备
检查的基板一致。
第 4 章 维护保养
目录
作业前 4-1
1. 保持机器的性能 4-2
1.1 必备条件与环境条件 4-2
1.2 定期点检与清洁的重要性 4-2
2. 维护保养项目一览 4-3
3. 维护保养作业前的准备 4-5
3.1 易耗件 4-5
3.2 维护保养工具 4-6
3.2.1 清洁工具 4-6
3.2.2 加油工具、润滑油 4-7
3.3 必备工具 4-8
3.4 背面中央盖板的拆卸方法 4-9
4. 每周 4-10
4.1 相机照明的清洁 4-10
4.2 确认基板传感器的状态 4-12
4.3 确认基板夹的状态、动作 4-12
5. 每月 4-13
5.1 各轴的点检 4-13
5.2 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-14
5.2.1 XT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-14
5.2.2 XT 轴导轨的清洁与加油 4-16
5.2.3 YT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-17
5.2.4 YT 轴导轨的清洁与加油 4-18
5.2.5 LX 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-19
5.2.6 LX 轴导轨的清洁与加油 4-20
5.2.7 LY 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-21
5.2.8 LY 轴导轨的清洁与加油 4-22
5.3 基板传送带的点检与清洁 4-23
5.4 基板传送带的张力检查 4-25
5.5 X 射线发生装置的点检 4-27