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第 4 章 维护保养 目录 作业前 4-1 1. 保持机器的性能 4-2 1.1 必备条件与环境条件 4-2 1.2 定期点检与清洁的重要性 4-2 2. 维护保养项目一览 4-3 3. 维护保养作业前的准备 4-5 3.1 易耗件 4-5 3.2 维护保养工具 4-6 3.2.1 清洁工具 4-6 3.2.2 加油工具、润滑油 4-7 3.3 必备工具 4-8 3.4 背面中央盖板的拆卸方法 …
3-3
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3.检查程序的选择
从已创建的检查程序列表中选择准备检查的基板用的检查程序。
1
打开切换检查程序的画面。
按 [ 基板切换 ] 按钮，打开切换检查程序的画面。
2
从检查程序列表中选择检查的基板用的检查程序。
在“基板切换”画面的程序列表中选择检查程序之后，按 [ 读入程序 ] 按钮 ；也可以直接用鼠标双击程序
列表内选定的行。
选择检查程序
读入的检查程序名
基板示意图
选择检查程序
1
[读入程序]按钮
26301-M6-00
3
确认读入的检查程序。
确认状态栏里显示的检查程序名是否与选定的检查程序名一致。画面左下部显示的基板示意图是否与准备
检查的基板一致。
第 4 章 维护保养
目录
作业前 4-1
1. 保持机器的性能 4-2
1.1 必备条件与环境条件 4-2
1.2 定期点检与清洁的重要性 4-2
2. 维护保养项目一览 4-3
3. 维护保养作业前的准备 4-5
3.1 易耗件 4-5
3.2 维护保养工具 4-6
3.2.1 清洁工具 4-6
3.2.2 加油工具、润滑油 4-7
3.3 必备工具 4-8
3.4 背面中央盖板的拆卸方法 4-9
4. 每周 4-10
4.1 相机照明的清洁 4-10
4.2 确认基板传感器的状态 4-12
4.3 确认基板夹的状态、动作 4-12
5. 每月 4-13
5.1 各轴的点检 4-13
5.2 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-14
5.2.1 XT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-14
5.2.2 XT 轴导轨的清洁与加油 4-16
5.2.3 YT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-17
5.2.4 YT 轴导轨的清洁与加油 4-18
5.2.5 LX 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-19
5.2.6 LX 轴导轨的清洁与加油 4-20
5.2.7 LY 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-21
5.2.8 LY 轴导轨的清洁与加油 4-22
5.3 基板传送带的点检与清洁 4-23
5.4 基板传送带的张力检查 4-25
5.5 X 射线发生装置的点检 4-27
6. 3 个月 4-29
6.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-29
6.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-29
6.1.2 W 轴导轨的清洁与加油 4-31
6.1.3 MS 轴导轨的清洁与加油 4-33
6.2 气、雾过滤器的点检与清洁 4-34
7. 6 个月 4-36
7.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-36
7.1.1 HZ 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-36
7.1.2 HZ 轴导轨的清洁与加油 4-38
7.1.3 HS 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-39
7.1.4 HS 轴导轨的清洁与加油 4-40
7.2 控制箱过滤网的清洁 (TypeHD、TypeHB) 4-41
8. 易耗件的更换方法 4-42
8.1 基板传送带的更换 4-42
8.2 UPS ( 不间断电源 ) 蓄电池的更换 4-44