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6. 3 个月 4-29 6.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-29 6.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-29 6.1.2 W 轴导轨的清洁与加油 4-31 6.1.3 MS 轴导轨的清洁与加油 4-33 6.2 气、雾过滤器的点检与清洁 4-34 7. 6 个月 4-36 7.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-36 7.1.1 HZ 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-36 7.1.2 HZ 轴导…
第 4 章 维护保养
目录
作业前 4-1
1. 保持机器的性能 4-2
1.1 必备条件与环境条件 4-2
1.2 定期点检与清洁的重要性 4-2
2. 维护保养项目一览 4-3
3. 维护保养作业前的准备 4-5
3.1 易耗件 4-5
3.2 维护保养工具 4-6
3.2.1 清洁工具 4-6
3.2.2 加油工具、润滑油 4-7
3.3 必备工具 4-8
3.4 背面中央盖板的拆卸方法 4-9
4. 每周 4-10
4.1 相机照明的清洁 4-10
4.2 确认基板传感器的状态 4-12
4.3 确认基板夹的状态、动作 4-12
5. 每月 4-13
5.1 各轴的点检 4-13
5.2 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-14
5.2.1 XT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-14
5.2.2 XT 轴导轨的清洁与加油 4-16
5.2.3 YT 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-17
5.2.4 YT 轴导轨的清洁与加油 4-18
5.2.5 LX 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-19
5.2.6 LX 轴导轨的清洁与加油 4-20
5.2.7 LY 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-21
5.2.8 LY 轴导轨的清洁与加油 4-22
5.3 基板传送带的点检与清洁 4-23
5.4 基板传送带的张力检查 4-25
5.5 X 射线发生装置的点检 4-27
6. 3 个月 4-29
6.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-29
6.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-29
6.1.2 W 轴导轨的清洁与加油 4-31
6.1.3 MS 轴导轨的清洁与加油 4-33
6.2 气、雾过滤器的点检与清洁 4-34
7. 6 个月 4-36
7.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油 4-36
7.1.1 HZ 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-36
7.1.2 HZ 轴导轨的清洁与加油 4-38
7.1.3 HS 轴滚珠丝杆的清洁与加油 4-39
7.1.4 HS 轴导轨的清洁与加油 4-40
7.2 控制箱过滤网的清洁 (TypeHD、TypeHB) 4-41
8. 易耗件的更换方法 4-42
8.1 基板传送带的更换 4-42
8.2 UPS ( 不间断电源 ) 蓄电池的更换 4-44
4-1
4
作业前
原则上，维护保养作业必须在切断检查机电源的状态下进行。
但，根据作业内容也有不得不接通检查机电源在紧急停机状态下进行的作业。
此时，请务必确认安全并按下急停按钮之后再操作。
此外，根据作业内容，需要移动轴和确认运行动作时，请接通检查机电源之后再操作。
此时也请务必确认安全之后再操作。
启动检查机时，必须满足下述条件。
■ 运行条件
1.已达到了适当的供给气压。
2.安全机门已关闭。
3.电源已正常接通。
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要点
本书中介绍的操作步骤中有“解除检查机的紧急停机状态”的记述。
这是指“向右转动紧急停机按钮之后按 [READY] 按钮，使伺服进入使能状态”的意思。