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4-12 4 4.2 确认基板传感器的状态 本检查机的基板传感器使用的是穿透型光纤传感器。调节传送宽度之后，需确认传感器的感应是否正常。 1 按 [ 手动操作 ] 按钮，打开“传送装置” 画面。 2 按 [ 调整宽度 ] 按钮，调节传送宽度。 1. 显示“传送装置”对话框之后，在“调节后传 送宽度”输入框中输入最大宽度 (460mm) 并按 [OK] 按钮，传送宽度变为指定的宽度。 2. 继续在“调节后传送宽度”输入框中输入最小 宽度 …
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4
6
拆卸扩散板。
用十字螺丝刀拆卸扩散板的 4 处固定螺丝之后，取
下扩散板。
7
清洁扩散板。
用无尘擦拭纸擦去扩散板上的脏污。
8
清洁光学检查相机的照明。
用气吹毛刷清除光学检查相机照明内的尘屑。
9
安装扩散板。
按照与拆卸时相反的步骤安装扩散板。
拆卸扩散板
Step 6
扩散板固定螺丝 (4处)
扩散板
55406-M6-00
清洁光学检查相机的照明
Step 8
气吹毛刷
相机照明
55407-M6-00
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4
4.2 确认基板传感器的状态
本检查机的基板传感器使用的是穿透型光纤传感器。调节传送宽度之后，需确认传感器的感应是否正常。
1
按 [ 手动操作 ] 按钮，打开“传送装置”
画面。
2
按 [ 调整宽度 ] 按钮，调节传送宽度。
1. 显示“传送装置”对话框之后，在“调节后传
送宽度”输入框中输入最大宽度 (460mm) 并按
[OK] 按钮，传送宽度变为指定的宽度。
2. 继续在“调节后传送宽度”输入框中输入最小
宽度 (50mm) 之后，按 [OK] 按钮，传送宽度变
为指定的宽度。
3
确认是否出错。
调节传送宽度时，若没有显示错误警告，则表示传
感器正常。确认到此结束。
显示了错误警告时，必须按照下列步骤调节传感器。
■ 传感器的调节方法
若调节传送宽度时发生了错误，必须确认传感器的信号
输出状态。
1.打开 [ 手动操作 ]-“I/O”画面。
2.从“Output”列表中选择“T01000E,0”。
3.按 [ON/OFF] 按钮，切换 0(OFF) → 1(ON) → 0(OFF) 进
行调节。
4.再次按“传送装置”画面的 [ 调整宽度 ] 按钮，按照上
述 Step2的步骤调节传送宽度，如果不再显示错误警告，
表示传感器正常。
4.3 确认基板夹的状态、动作
按照下述项目，确认基板夹的状态。
1. 夹固基板之后，基板无松动。
2. 夹固基板之后，基板压板与基板之间无间隙。
3. 夹固基板之后，传送轨面与基板面无高低之差。
4. 基板夹夹固、松开动作顺畅。
调整传送宽度
输入传送宽度
最大宽度：460mm
最小宽度：50mm
[手动操作] 按钮
“传送装置”画面
[调整宽度] 按钮
Step 2
56400-M6-00
调节基板传感器
“I/O”画面
3
2
56401-M6-00
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4
5.每月
5.1 各轴的点检
请按照下述要点，点检各轴的滚珠丝杆与导轨。
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要点
各轴装有防止润滑油飞溅用的护盖，点检时需拆下护盖之后再进行。
n
要点
开始维护保养作业之前，请参照本章前述“3.4 背面中央盖板的拆卸方法”拆卸检查机背面的中央盖板，使背面的安全机门可以开关。
维护保养作业结束之后，请务必将拆下的背面中央盖板装回原位。
■ 点检要点
1.滚珠丝杆与导轨上是否粘附有异物？
2.滚珠丝杆与导轨的润滑油使用状态是否适当？
确认润滑油没有流出、飞溅现象，也没有变色或凝固。
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3.滚珠丝杆是否有异响？
在按下紧急停机按钮的状态下，用手推动各轴，检查是否有异响。
■ 解决方法
1.异物被夹入，是磨损滚珠丝杆及导轨的重要原因。如果有异物粘附，必须连同润滑油一并擦去或用镊子等除去。
2.参阅后述各轴的“清洁、加油”的内容添加润滑油。
3.如果进行了上述 1. 与 2. 的处理后仍无法消除异响，请与销售代理商或直接与本公司联系。
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注意
有关润滑油的使用，请参阅本章前述“3.2.2 加油工具、润滑油”中有关润滑油的使用注意事项。
c
注意
各轴的滚珠丝杆与导轨出现异响时，请与销售代理商或直接与本公司联系。客户自行拆开清洁则不在保修范围内。