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4-13 4 5. 每月 5.1 各轴的点检 请按照下述要点，点检各轴的滚珠丝杆与导轨。 n 要点 各轴装有防止润滑油飞溅用的护盖，点检时需拆下护盖之后再进行。 n 要点 开始维护保养作业之前， 请参照本章前述 “3.4 背面中央盖板的拆卸方法” 拆卸检查机背面的中央盖板， 使背面的安全机门可以开关。 维护保养作业结束之后，请务必将拆下的背面中央盖板装回原位。 ■ 点检要点 1. 滚珠丝杆与导轨上是否粘附有异物？ 2. 滚珠丝…
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4.2 确认基板传感器的状态
本检查机的基板传感器使用的是穿透型光纤传感器。调节传送宽度之后，需确认传感器的感应是否正常。
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按 [ 手动操作 ] 按钮，打开“传送装置”
画面。
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按 [ 调整宽度 ] 按钮，调节传送宽度。
1. 显示“传送装置”对话框之后，在“调节后传
送宽度”输入框中输入最大宽度 (460mm) 并按
[OK] 按钮，传送宽度变为指定的宽度。
2. 继续在“调节后传送宽度”输入框中输入最小
宽度 (50mm) 之后，按 [OK] 按钮，传送宽度变
为指定的宽度。
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确认是否出错。
调节传送宽度时，若没有显示错误警告，则表示传
感器正常。确认到此结束。
显示了错误警告时，必须按照下列步骤调节传感器。
■ 传感器的调节方法
若调节传送宽度时发生了错误，必须确认传感器的信号
输出状态。
1.打开 [ 手动操作 ]-“I/O”画面。
2.从“Output”列表中选择“T01000E,0”。
3.按 [ON/OFF] 按钮，切换 0(OFF) → 1(ON) → 0(OFF) 进
行调节。
4.再次按“传送装置”画面的 [ 调整宽度 ] 按钮，按照上
述 Step2的步骤调节传送宽度，如果不再显示错误警告，
表示传感器正常。
4.3 确认基板夹的状态、动作
按照下述项目，确认基板夹的状态。
1. 夹固基板之后，基板无松动。
2. 夹固基板之后，基板压板与基板之间无间隙。
3. 夹固基板之后，传送轨面与基板面无高低之差。
4. 基板夹夹固、松开动作顺畅。
调整传送宽度
输入传送宽度
最大宽度：460mm
最小宽度：50mm
[手动操作] 按钮
“传送装置”画面
[调整宽度] 按钮
Step 2
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调节基板传感器
“I/O”画面
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2
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5.每月
5.1 各轴的点检
请按照下述要点，点检各轴的滚珠丝杆与导轨。
n
要点
各轴装有防止润滑油飞溅用的护盖，点检时需拆下护盖之后再进行。
n
要点
开始维护保养作业之前，请参照本章前述“3.4 背面中央盖板的拆卸方法”拆卸检查机背面的中央盖板，使背面的安全机门可以开关。
维护保养作业结束之后，请务必将拆下的背面中央盖板装回原位。
■ 点检要点
1.滚珠丝杆与导轨上是否粘附有异物？
2.滚珠丝杆与导轨的润滑油使用状态是否适当？
确认润滑油没有流出、飞溅现象，也没有变色或凝固。
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3.滚珠丝杆是否有异响？
在按下紧急停机按钮的状态下，用手推动各轴，检查是否有异响。
■ 解决方法
1.异物被夹入，是磨损滚珠丝杆及导轨的重要原因。如果有异物粘附，必须连同润滑油一并擦去或用镊子等除去。
2.参阅后述各轴的“清洁、加油”的内容添加润滑油。
3.如果进行了上述 1. 与 2. 的处理后仍无法消除异响，请与销售代理商或直接与本公司联系。
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注意
有关润滑油的使用，请参阅本章前述“3.2.2 加油工具、润滑油”中有关润滑油的使用注意事项。
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注意
各轴的滚珠丝杆与导轨出现异响时，请与销售代理商或直接与本公司联系。客户自行拆开清洁则不在保修范围内。
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5.2 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油
下面，介绍各轴的滚珠丝杆与导轨的清洁、加油方法。关于加油位置与加油方式，请参照后述“第 5 章 加油位置
一览”。
5.2.1 XT 轴滚珠丝杆的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 十字螺丝刀
• 无尘擦拭纸
• 润滑油枪 ( 标准枪嘴 )
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
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注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
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进行作业前的准备。
1. 为保障作业安全，请务必按紧急停机按钮，将
检查机置于紧急停机状态。
2. 打开 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面，按 [ 基
板挡板 ] 按钮，使基板挡板上升。
2
打开正面与背面的安全机门。
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拆卸防止润滑油飞溅用的护盖。
1. 将传送工作台移到检查机的背面侧。
2. 用十字螺丝刀拆下护盖的固定螺丝。
3. 将护盖取出。
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擦拭滚珠丝杆。
用无尘擦拭纸擦去滚珠丝杆的脏污润滑油与尘屑。
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要点
仔细擦拭包括螺旋槽部在内的滚珠丝杆全杆，并确认没有尘
屑残留。
拆卸XT轴防止润滑油飞溅用的护盖
护盖
检查机正面
Step 3
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清洁XT轴的滚珠丝杆部
Step 4
XT轴的滚珠丝杆 无尘擦拭纸
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使基板挡板上升
[手动操作] 按钮
“传送装置”画面
[基板挡板] 按钮
Step 1
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