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4-15 4 5 加润滑油。 用润滑油枪 ( 标准枪嘴 ) 将指定的润滑油 (NSL) 从 右图所示的 1 处润滑油注油嘴注入。 n 要点 关于加油位置与使用的润滑油枪嘴类型， 还可以参照后述 “第 5 章 加油位置一览” 。 6 擦去多余的润滑油。 用手左右移动传送工作台数次之后，用无尘擦拭纸 擦去滚珠丝杆上多余的润滑油。 7 将防止润滑油飞溅用的护盖装回原位。 按照与拆卸时相反的步骤将护盖装回原位。 给XT轴的滚珠丝杆部加润滑油 S…
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4
5.2 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油
下面，介绍各轴的滚珠丝杆与导轨的清洁、加油方法。关于加油位置与加油方式，请参照后述“第 5 章 加油位置
一览”。
5.2.1 XT 轴滚珠丝杆的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 十字螺丝刀
• 无尘擦拭纸
• 润滑油枪 ( 标准枪嘴 )
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
c
注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
e
1
进行作业前的准备。
1. 为保障作业安全，请务必按紧急停机按钮，将
检查机置于紧急停机状态。
2. 打开 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面，按 [ 基
板挡板 ] 按钮，使基板挡板上升。
2
打开正面与背面的安全机门。
3
拆卸防止润滑油飞溅用的护盖。
1. 将传送工作台移到检查机的背面侧。
2. 用十字螺丝刀拆下护盖的固定螺丝。
3. 将护盖取出。
4
擦拭滚珠丝杆。
用无尘擦拭纸擦去滚珠丝杆的脏污润滑油与尘屑。
n
要点
仔细擦拭包括螺旋槽部在内的滚珠丝杆全杆，并确认没有尘
屑残留。
拆卸XT轴防止润滑油飞溅用的护盖
护盖
检查机正面
Step 3
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清洁XT轴的滚珠丝杆部
Step 4
XT轴的滚珠丝杆 无尘擦拭纸
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使基板挡板上升
[手动操作] 按钮
“传送装置”画面
[基板挡板] 按钮
Step 1
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4
5.2.2 XT 轴导轨的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 十字螺丝刀
• 无尘擦拭纸
• 润滑油枪 ( 标准枪嘴 )
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
c
注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
e
1
进行作业前的准备。
1. 为保障作业安全，请务必按紧急停机按钮，将
检查机置于紧急停机状态。
2. 打开 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面，按 [ 基
板挡板 ] 按钮，使基板挡板上升。
2
打开正面与背面的安全机门。
3
擦拭导轨。
1. 将传送工作台移到检查机的背面侧。
2. 左右移动传送工作台，用无尘擦拭纸等擦去背
面侧导轨上的脏污润滑油与尘屑。
3. 再将传送工作台移到检查机的正面侧。
4. 左右移动传送工作台，用无尘擦拭纸等擦拭正
面侧导轨上的脏污润滑油与尘屑。
n
要点
仔细擦拭包括移动导槽部在内的导轨全轨。
4
添加润滑油。
•
正面侧导轨
用润滑油枪 ( 标准枪嘴 ) 将指定的润滑油 (NSL) 从
正面侧导轨上的 3 处润滑油注油嘴注入。
•
背面侧导轨
1. 需用十字螺丝刀拆下背面侧导轨的润滑油注油
嘴护盖 (2 块 )。
2. 用润滑油枪 ( 标准枪嘴 ) 将指定的润滑油 (NSL)
从背面侧导轨上的 3 处润滑油注油嘴注入。
n
要点
关于加油位置与使用的润滑油枪嘴类型，还可以参照后述“第
5 章 加油位置一览”。
5
擦去多余的润滑油。
用手左右移动传送工作台数次之后，擦去前后侧导
轨上多余的润滑油。
6
安装背面侧导轨的润滑油注油嘴护盖。
将在 Step4 中拆下的背面侧导轨的润滑油注油嘴护
盖 (2 块 ) 装回原位。
清洁XT轴导轨部 (背面侧)
Step 3
XT轴导轨
(背面侧)
无尘擦拭纸
检查机正面
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给XT轴导轨部加润滑油 (背面侧)
润滑油注油嘴
润滑油注油嘴护盖
Step 4
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