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4-23 4 5.3 基板传送带的点检与清洁 传送带的传送面被磨损可引起滑带、 导致无法稳定地传送基板。 因此建议定期对传送带的磨损状态进行检查。 此外， 由于传送带被磨损导致磨损粉在基板传感器的感应面堆积，可能会引起误感应基板 ； 磨损粉在传送带导槽内积存 则可以会引起传送带传送不动等故障发生。 ■ 需准备的工具等 • 内六角扳手 (4mm、5mm) • 吸尘工具 ( 选购件 ) • 方巾 • 无尘擦拭纸 • 塑料…
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5.2.8 LY 轴导轨的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 无尘擦拭纸
• 润滑油枪 ( 标准枪嘴 )
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
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注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
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1
进行作业之前的准备。
1. 为保障作业安全，请务必按紧急停机按钮，将
检查机置于紧急停机状态。
2. 打开 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面，按 [ 基
板挡板 ] 按钮，使基板挡板上升。
2
打开正面、背面的安全机门。
3
擦拭导轨。
1. 将传送工作台移到检查机的正面侧，X 射线相
机工作台移到检查机的背面侧。
2. 用无尘擦拭纸等擦去导轨的脏污润滑油与尘屑。
3. 再将 X 射线相机工作台移到检查机的正面侧之
后，从检查机的背面用无尘擦拭纸等擦拭导轨。
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要点
仔细擦拭包括移动导槽部在内的导轨全轨。
4
添加润滑油。
用润滑油枪 ( 标准枪嘴 ) 将指定的润滑油 (NSL) 从
指定的润滑油注油嘴注入。如右图所示左右导轨上
各有 2 个注油嘴，共 4 处。
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要点
关于加油位置与使用的润滑油枪嘴类型，还可以参照后述“第
5 章 加油位置一览”。
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擦去多余的润滑油。
用手将 X 射线相机工作台前后移动数次之后，擦去
左右导轨上多余的润滑油。
清洁LY轴的导轨部 (正面侧)
Step 3
LY轴的导轨 无尘擦拭纸
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给LY轴导轨部加润滑油 (正面侧)
Step 4
润滑油注油嘴 (前后各2处)
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5.3 基板传送带的点检与清洁
传送带的传送面被磨损可引起滑带、导致无法稳定地传送基板。因此建议定期对传送带的磨损状态进行检查。此外，
由于传送带被磨损导致磨损粉在基板传感器的感应面堆积，可能会引起误感应基板 ；磨损粉在传送带导槽内积存
则可以会引起传送带传送不动等故障发生。
■ 需准备的工具等
•
内六角扳手 (4mm、5mm)
•
吸尘工具 ( 选购件 )
•
方巾
•
无尘擦拭纸
•
塑料软刷
1
将传送宽度调到便于点检、清洁的宽度。
1. 打开 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面，按 [ 调
整宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
2. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入可伸入
内六角扳手的宽度 ( 约 200mm) 之后，按 [OK]
按钮。传送宽度变为指定的宽度。
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2
进行作业前的准备。
1. 为保障作业安全，请务必按紧急停机按钮，将
检查机置于紧急停机状态。
2. 打开 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面，按 [ 基
板挡板 ] 按钮，使基板挡板上升。
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打开检查机的正面安全机门。
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放松传送带的张力。
1. 在导轨与滚珠丝杆上垫上方巾。
2. 用 4mm 与 5mm 的内六角扳手拧松张紧轮，放
松传送带的张力。
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拆下传送带。
1. 用 4mm 与 5mm 的内六角扳手拧松两端的带轮。
2. 将传送带从带轮与基板导轨部的传送带导槽中
取出。
参考
只需拧松两端的带轮就可以拆卸传送带，因此无需拧松两端
以外的其它带轮。
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确认传送带传送面的磨损状态。
确认拆下的传送带的传送面是否已被磨损。
调节传送宽度
输入传送宽度
[手动操作] 按钮
“传送装置”画面
[传送宽度] 按钮
Step 1
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放松传送带的张力
Step 4
张紧轮的固定螺栓
张紧轮
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