YSi-X_Ope_C - 第68页
4-24 4 7 清洁基板导轨部的传送带导槽与带轮。 用吸尘工具 ( 选购件 ) 等吸取传送带导槽与传感器 感应面、带轮等上粘附的磨损粉。 c 注意 若传送带的磨损粉变黑固着在带轮表面时，可用金属刮片等 除去。 8 安装传送带。 按照与拆卸时相反的步骤将传送带装回原位。 参考 传送带的张力规格如下 ： • 使用张力计时 张力值 ： 190 〜 160Hz 跨距长度 ： 128mm • 不使用张力计时 跨距长度 ： 35 〜 38mm 详…
4-23
4
5.3 基板传送带的点检与清洁
传送带的传送面被磨损可引起滑带、导致无法稳定地传送基板。因此建议定期对传送带的磨损状态进行检查。此外，
由于传送带被磨损导致磨损粉在基板传感器的感应面堆积，可能会引起误感应基板 ；磨损粉在传送带导槽内积存
则可以会引起传送带传送不动等故障发生。
■ 需准备的工具等
•
内六角扳手 (4mm、5mm)
•
吸尘工具 ( 选购件 )
•
方巾
•
无尘擦拭纸
•
塑料软刷
1
将传送宽度调到便于点检、清洁的宽度。
1. 打开 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面，按 [ 调
整宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
2. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入可伸入
内六角扳手的宽度 ( 约 200mm) 之后，按 [OK]
按钮。传送宽度变为指定的宽度。
e
2
进行作业前的准备。
1. 为保障作业安全，请务必按紧急停机按钮，将
检查机置于紧急停机状态。
2. 打开 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面，按 [ 基
板挡板 ] 按钮，使基板挡板上升。
3
打开检查机的正面安全机门。
4
放松传送带的张力。
1. 在导轨与滚珠丝杆上垫上方巾。
2. 用 4mm 与 5mm 的内六角扳手拧松张紧轮，放
松传送带的张力。
5
拆下传送带。
1. 用 4mm 与 5mm 的内六角扳手拧松两端的带轮。
2. 将传送带从带轮与基板导轨部的传送带导槽中
取出。
参考
只需拧松两端的带轮就可以拆卸传送带，因此无需拧松两端
以外的其它带轮。
6
确认传送带传送面的磨损状态。
确认拆下的传送带的传送面是否已被磨损。
调节传送宽度
输入传送宽度
[手动操作] 按钮
“传送装置”画面
[传送宽度] 按钮
Step 1
56403-M6-00
放松传送带的张力
Step 4
张紧轮的固定螺栓
张紧轮
55428-M6-00
4-25
4
5.4 基板传送带的张力检查
下面，介绍检查传送带张力的方法与调整张力的方法。
■ 使用张力计测定时
使用张力计时，传送带张力的规格值如下。
•
张力值 ：190 〜 160Hz
•
跨距长度 ：128mm
使用张力计时的跨距长度
128mm
55430-M6-00
■ 不使用张力计测定时
使用张力计时，跨距长度的规格值如下。
•
跨距长度 ：35 〜 38mm
不使用张力计时的跨距长度
35〜38mm
55431-M6-00