YSi-X_Ope_C - 第72页
4-28 4 3 确认自动测试的结果。 自动测试结束之后，画面上部状态栏右端的显示将返回到“X-RAY READY” 。 确认“X 射线信息”画面，若“Max uA”在“L3”以上则说明没有问题。 自动测试结果 确认“Max uA” 此例中的自动测试 结果为“L5”， 说明没有问题。 硬件出错 56405-M6-00 n 要点 若自动测试的结果“Max uA”为“L2”时，说明已接近 X 射线源的使用寿命。此时，请与销售代理商或本公司联…
4-27
4
5.5 X 射线发生装置的点检
YSi-X 检查机中装有 X 射线发生装置。X 射线发生装置的使用寿命是有限的，请使用自动测试功能定期对 X 射线
发生装置的使用寿命进行检查。
1
按“基板切换”画面右下部的 [X 射线信息 ] 按钮。
显示“X 射线信息”画面。
2
进行自动测试。
从“操作”分组框的下拉框中选择“自动测试”之后，按 [ 执行 ] 按钮。
检查机自动根据累计通电时间与累计照射时间自动测定使用寿命。测定所需时间大约为 90 秒。
自动测试过程中，画面上部状态栏的右端会显示为“X-RAY SELF TEST”。
X射线信息画面
[X射线信息] 按钮[执行] 按钮选择“自动测试”
56404-M6-00
4-28
4
3
确认自动测试的结果。
自动测试结束之后，画面上部状态栏右端的显示将返回到“X-RAY READY”。
确认“X 射线信息”画面，若“Max uA”在“L3”以上则说明没有问题。
自动测试结果
确认“Max uA”
此例中的自动测试
结果为“L5”，
说明没有问题。
硬件出错
56405-M6-00
n
要点
若自动测试的结果“Max uA”为“L2”时，说明已接近 X 射线源的使用寿命。此时，请与销售代理商或本公司联系。更换 X 射线
源的同时还需要更换 X 射线探测器。
若自动测试的结果“Max uA”为“Restricted”、“Call!”时，可能会影响检查结果。
c
注意
“硬件出错”行中显示错误编号 (Error Code) 时，请将该错误编号通知本公司。
4
按[关闭]按钮。
按 [ 关闭 ] 按钮，返回“基板切换”画面。
4-29
4
6.3 个月
n
要点
开始维护保养作业之前，请参照本章前述“3.4 背面中央盖板的拆卸方法”拆卸检查机背面的中央盖板，使背面的安全机门可以开关。
维护保养作业结束之后，请务必将拆下的背面中央盖板装回原位。
c
注意
•
关于润滑油的使用，请参照本章前述“3.2.2 加油工具、润滑油”中有关润滑油的使用注意事项。
•
各轴的滚珠丝杆或导轨出现异响等时，请与销售代理商或本公司联系。客户自行拆开清洁则不在保修范围内。
6.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油
6.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 无尘擦拭纸
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
c
注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
1
将传送宽度调到最大。
1. 按“基板切换”画面右下部的 [ 返回原点 ] 按钮，
使检查机返回原点。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面中的 [ 调整
宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
3. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入最大宽
度 (460mm) 之后，按 [OK] 按钮。传送宽度变
为指定的宽度。
e
2
按紧急停机按钮。
为保障作业安全，需将检查机置于紧急停机状态。
3
打开检查机的背面安全机门。
将传送工作台移动到检查机的背面侧。
4
清洁滚珠丝杆部。
用无尘擦拭纸擦去滚珠丝杆上的脏污润滑油与尘
屑。
n
要点
仔细擦拭包括螺旋槽部在内的滚珠丝杆全杆，并确认没有尘
屑残留。
将传送宽度调到最大
3. 输入最大宽度：
460mm
“基板切换”
画面
“传送装置”画面
1. [返回原点] 按钮
2. [调整宽度]
按钮
Step 1
56406-M6-00
清洁W轴的滚珠丝杆部
Step 4
W轴的滚珠丝杆
无尘擦拭纸
55433-M6-00