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4-29 4 6. 3 个月 n 要点 开始维护保养作业之前， 请参照本章前述 “3.4 背面中央盖板的拆卸方法” 拆卸检查机背面的中央盖板， 使背面的安全机门可以开关。 维护保养作业结束之后，请务必将拆下的背面中央盖板装回原位。 c 注意 • 关于润滑油的使用，请参照本章前述 “3.2.2 加油工具、润滑油” 中有关润滑油的使用注意事项。 • 各轴的滚珠丝杆或导轨出现异响等时，请与销售代理商或本公司联系。客户自行拆开清洁则不在保…
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3
确认自动测试的结果。
自动测试结束之后，画面上部状态栏右端的显示将返回到“X-RAY READY”。
确认“X 射线信息”画面，若“Max uA”在“L3”以上则说明没有问题。
自动测试结果
确认“Max uA”
此例中的自动测试
结果为“L5”，
说明没有问题。
硬件出错
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n
要点
若自动测试的结果“Max uA”为“L2”时，说明已接近 X 射线源的使用寿命。此时，请与销售代理商或本公司联系。更换 X 射线
源的同时还需要更换 X 射线探测器。
若自动测试的结果“Max uA”为“Restricted”、“Call!”时，可能会影响检查结果。
c
注意
“硬件出错”行中显示错误编号 (Error Code) 时，请将该错误编号通知本公司。
4
按[关闭]按钮。
按 [ 关闭 ] 按钮，返回“基板切换”画面。
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4
6.3 个月
n
要点
开始维护保养作业之前，请参照本章前述“3.4 背面中央盖板的拆卸方法”拆卸检查机背面的中央盖板，使背面的安全机门可以开关。
维护保养作业结束之后，请务必将拆下的背面中央盖板装回原位。
c
注意
•
关于润滑油的使用，请参照本章前述“3.2.2 加油工具、润滑油”中有关润滑油的使用注意事项。
•
各轴的滚珠丝杆或导轨出现异响等时，请与销售代理商或本公司联系。客户自行拆开清洁则不在保修范围内。
6.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油
6.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 无尘擦拭纸
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
c
注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
1
将传送宽度调到最大。
1. 按“基板切换”画面右下部的 [ 返回原点 ] 按钮，
使检查机返回原点。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面中的 [ 调整
宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
3. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入最大宽
度 (460mm) 之后，按 [OK] 按钮。传送宽度变
为指定的宽度。
e
2
按紧急停机按钮。
为保障作业安全，需将检查机置于紧急停机状态。
3
打开检查机的背面安全机门。
将传送工作台移动到检查机的背面侧。
4
清洁滚珠丝杆部。
用无尘擦拭纸擦去滚珠丝杆上的脏污润滑油与尘
屑。
n
要点
仔细擦拭包括螺旋槽部在内的滚珠丝杆全杆，并确认没有尘
屑残留。
将传送宽度调到最大
3. 输入最大宽度：
460mm
“基板切换”
画面
“传送装置”画面
1. [返回原点] 按钮
2. [调整宽度]
按钮
Step 1
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清洁W轴的滚珠丝杆部
Step 4
W轴的滚珠丝杆
无尘擦拭纸
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5
涂抹润滑油。
用手指蘸上指定的润滑油 (NSL) 均匀地涂抹在滚珠
丝杆的表面与螺旋槽部。
6
擦去多余的润滑油。
用无尘擦拭纸擦去多余的润滑油。
给W轴的滚珠丝杆涂抹润滑油
Step 5
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