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4-30 4 5 涂抹润滑油。 用手指蘸上指定的润滑油 (NSL) 均匀地涂抹在滚珠 丝杆的表面与螺旋槽部。 6 擦去多余的润滑油。 用无尘擦拭纸擦去多余的润滑油。 给W轴的滚珠丝杆涂抹润滑油 Step 5 55434-M6-00
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4
6.3 个月
n
要点
开始维护保养作业之前，请参照本章前述“3.4 背面中央盖板的拆卸方法”拆卸检查机背面的中央盖板，使背面的安全机门可以开关。
维护保养作业结束之后，请务必将拆下的背面中央盖板装回原位。
c
注意
•
关于润滑油的使用，请参照本章前述“3.2.2 加油工具、润滑油”中有关润滑油的使用注意事项。
•
各轴的滚珠丝杆或导轨出现异响等时，请与销售代理商或本公司联系。客户自行拆开清洁则不在保修范围内。
6.1 滚珠丝杆与导轨的清洁、加油
6.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 无尘擦拭纸
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
c
注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
1
将传送宽度调到最大。
1. 按“基板切换”画面右下部的 [ 返回原点 ] 按钮，
使检查机返回原点。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面中的 [ 调整
宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
3. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入最大宽
度 (460mm) 之后，按 [OK] 按钮。传送宽度变
为指定的宽度。
e
2
按紧急停机按钮。
为保障作业安全，需将检查机置于紧急停机状态。
3
打开检查机的背面安全机门。
将传送工作台移动到检查机的背面侧。
4
清洁滚珠丝杆部。
用无尘擦拭纸擦去滚珠丝杆上的脏污润滑油与尘
屑。
n
要点
仔细擦拭包括螺旋槽部在内的滚珠丝杆全杆，并确认没有尘
屑残留。
将传送宽度调到最大
3. 输入最大宽度：
460mm
“基板切换”
画面
“传送装置”画面
1. [返回原点] 按钮
2. [调整宽度]
按钮
Step 1
56406-M6-00
清洁W轴的滚珠丝杆部
Step 4
W轴的滚珠丝杆
无尘擦拭纸
55433-M6-00
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4
5
涂抹润滑油。
用手指蘸上指定的润滑油 (NSL) 均匀地涂抹在滚珠
丝杆的表面与螺旋槽部。
6
擦去多余的润滑油。
用无尘擦拭纸擦去多余的润滑油。
给W轴的滚珠丝杆涂抹润滑油
Step 5
55434-M6-00
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4
6.1.2 W 轴导轨的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 无尘擦拭纸
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
c
注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
1
将传送宽度调到最大。
1. 按“基板切换”画面右下部的 [ 返回原点 ] 按钮，
使检查机返回原点。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面中的 [ 调整
宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
3. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入最大宽
度 (460mm) 之后，按 [OK] 按钮。传送宽度变
为指定的宽度。
e
2
按紧急停机按钮。
为保障作业安全，需将检查机置于紧急停机状态。
3
打开检查机的背面安全机门。
4
清洁导轨部。
用无尘擦拭纸擦去导轨上的脏污润滑油与尘屑。
n
要点
仔细擦拭包括移动导槽部在内的导轨全轨。
5
将传送宽度调窄。
1. 关闭检查机背面的安全机门。
2. 将紧急停机向右转动之后，按 [READY] 按钮，
解除检查机的紧急停机状态。
3. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面中的 [ 调整
宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
4. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入 100mm
左右的值之后，按 [OK] 按钮。传送宽度变为指
定的宽度。
e
6
再次按紧急停机按钮。
7
打开检查机的背面安全机门。
8
擦拭导轨中还未擦到的部位。
用无尘擦拭纸擦拭在 Step4 中还未擦到的部位。
n
要点
仔细擦拭包括移动导槽部在内的导轨全轨。
将传送宽度调到最大
3. 输入最大宽度：
460mm
“基板切换”
画面
“传送装置”画面
1. [返回原点] 按钮
2. [调整宽度]
按钮
Step 1
56406-M6-00
清洁W轴的导轨部
Step 4
W轴的导轨
无尘擦拭纸
55435-M6-00
将传送宽度调窄
输入宽度：100mm左右
“传送装置”画面
[调整宽度]按钮
Step 5
56407-M6-00