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4-32 4 9 涂抹润滑油。 用手指蘸上指定的润滑油 (NSL) 均匀地涂抹在导轨 的表面。 0 擦去多余的润滑油。 用无尘擦拭纸擦去多余的润滑油。 给W轴的导轨部涂抹润滑油 Step 9 55436-M6-00
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4
6.1.2 W 轴导轨的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 无尘擦拭纸
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
c
注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
1
将传送宽度调到最大。
1. 按“基板切换”画面右下部的 [ 返回原点 ] 按钮，
使检查机返回原点。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面中的 [ 调整
宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
3. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入最大宽
度 (460mm) 之后，按 [OK] 按钮。传送宽度变
为指定的宽度。
e
2
按紧急停机按钮。
为保障作业安全，需将检查机置于紧急停机状态。
3
打开检查机的背面安全机门。
4
清洁导轨部。
用无尘擦拭纸擦去导轨上的脏污润滑油与尘屑。
n
要点
仔细擦拭包括移动导槽部在内的导轨全轨。
5
将传送宽度调窄。
1. 关闭检查机背面的安全机门。
2. 将紧急停机向右转动之后，按 [READY] 按钮，
解除检查机的紧急停机状态。
3. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面中的 [ 调整
宽度 ] 按钮，打开调节传送宽度的画面。
4. 在“调节后的传送宽度”输入框中输入 100mm
左右的值之后，按 [OK] 按钮。传送宽度变为指
定的宽度。
e
6
再次按紧急停机按钮。
7
打开检查机的背面安全机门。
8
擦拭导轨中还未擦到的部位。
用无尘擦拭纸擦拭在 Step4 中还未擦到的部位。
n
要点
仔细擦拭包括移动导槽部在内的导轨全轨。
将传送宽度调到最大
3. 输入最大宽度：
460mm
“基板切换”
画面
“传送装置”画面
1. [返回原点] 按钮
2. [调整宽度]
按钮
Step 1
56406-M6-00
清洁W轴的导轨部
Step 4
W轴的导轨
无尘擦拭纸
55435-M6-00
将传送宽度调窄
输入宽度：100mm左右
“传送装置”画面
[调整宽度]按钮
Step 5
56407-M6-00
4-32
4
9
涂抹润滑油。
用手指蘸上指定的润滑油 (NSL) 均匀地涂抹在导轨
的表面。
0
擦去多余的润滑油。
用无尘擦拭纸擦去多余的润滑油。
给W轴的导轨部涂抹润滑油
Step 9
55436-M6-00
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4
6.1.3 MS 轴导轨的清洁与加油
■ 需准备的工具等
• 无尘擦拭纸
• 润滑油枪 ( 标准枪嘴 )
• 指定的润滑油 ：NSL
• 防护眼镜
• 防护手套
c
注意
加润滑油时，请务必戴上防护眼镜与防护手套。
e
1
按紧急停机按钮。
为保障作业安全，需将检查机置于紧急停机状态。
2
打开检查机的正面安全机门。
3
清洁导轨部。
用手左右移动挡板单元，用无尘擦拭纸擦拭导轨全
轨的脏污润滑油与尘屑。
n
要点
仔细擦拭包括移动导槽部在内的导轨全轨。
4
添加润滑油。
用润滑油枪 ( 标准枪嘴 ) 将指定的润滑油 (NSL) 从
指定的 2 处润滑油注油嘴注入。
n
要点
关于加油位置与使用的润滑油枪嘴类型，还可以参照后述“第
5 章 加油位置一览”。
5
擦去多余的润滑油。
用手将挡板单元左右移动数次之后，用无尘擦拭纸
擦去导轨上多余的润滑油。
清洁MS轴的导轨部
Step 3
MS轴的导轨
挡板单元
无尘擦拭纸
55437-M6-00
给MS轴导轨部加润滑油
Step 4
润滑油注油嘴
润滑油注油嘴
55438-M6-00