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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 4 8ノズルヘッド制 御 :NPM 8 NOZ Z LE H EAD (H ): NPM ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610066303AA Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 Eight Nozz…

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4
8ノズルヘッド制
御
:NPM
8 NOZZLE HEAD (H):NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610066303AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O31
( KN610066303AA-07 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
4
8ノズルヘッド制
御
:NPM
8 NOZZLE HEAD (H):NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610066303AA
Part Name
備　　　考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
Eight Nozzle Head ZAxis Control Board
1
1 N610065254AB
S
PMC0AE-AA
HEAD Theta-Axis Control Board
1
2 N610063475AB
S
PMC0AF-BA
NOISE-FILTER
1
3 N510041900AA
S
ZCAT2436-1330A
O32
--
( KN610066303AA-07 )
U3
NPM:プロダクション モジュラー
NPM:Production Modular
ユニットレイアウト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM9B
UNIT LAYOUT
--
O33
( KEJM9BS-00-3 )