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U20 NPM:プロダクション モジュ ラー NPM:Production Modular ユニットレイアウト Model No. 製品品番 Model Name 製品名称 NM-EJM 9B UNIT LAYOUT - - O253 ( KEJM9BS-00-20 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
62
面補正ジグ:NPM
XY Plane Calibration Jig:NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610064253AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
GLASS
1
1 N210079803AA
CASE
1
2 N510036040AA 460X460
O252
--
( KN610064253AA-01 )
U20
NPM:プロダクション モジュラー
NPM:Production Modular
ユニットレイアウト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM9B
UNIT LAYOUT
--
O253
( KEJM9BS-00-20 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
PageNo.
U20
NPM:プロダクション モジュラー
NPM:Production Modular
ユニットリスト
Model No.
製品品番
Model Name
製品名称
NM-EJM9B
UNIT LIST
1
63
N610069446AA Air supply unit(feeder cart):NPM
エア供給ユニット(交換台車):NPM
O
255
O254
--
( KEJM9BS-00-20 )