TR7500DT_Hardware_ch - 第10页
9 3 X - Y T AB L E A L A R M l X Y T A B EL :在 D r i v er 上的顯示器得知是 否 有 異常 ,有 則為硬體異常 ,並 參考表格中 A l a r m c o de , 做故障排除; 若 無 , 則操 作 E z L I NK ,若 可以操 控 , 則硬體無問題 ,有 可能 是 軟體問題造成 X - Y T A B LE 異常 , 請 洽詢 F AE 人員 。 確認步驟如 下 : 3…

8
2.2.5 Table 及光學系統
2.2.6 電控盤
MEL Limit Switch_(LS1)
馬達_(Mo1)
Led Board
Motor Driver_(Dvx/Dvy)
Power Relay_(MC)
MOTION SLAVE
MODULE _(X/Y) Power Supply _(PS3/PS2/PS1)
LED Control

9
3 X-Y TABLE ALARM
l XY TABEL:在 Driver 上的顯示器得知是否有異常,有則為硬體異常,並
參考表格中 Alarm code,做故障排除;若無,則操作 EzLINK,若可以操
控,則硬體無問題,有可能是軟體問題造成 X-Y TABLE 異常,請洽詢 FAE
人員。確認步驟如下:
3.1 檢看 DRIVER ERROR CODES
l 若 LED 不是顯示這個畫面,請按 MODE 鍵切換

10