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操作手册Ⅱ 5-5 (1)管道系统图(主机) Cellblock A B P R A B A B ATC ) CVS f 6 ST=30 带电磁阀的复式 接头 AE/E 阀 AE/E 阀
操作手册Ⅱ
5-4
1)请确认没有漏气
1) 主机接通电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡销部
② 夹杆 X、夹杆 Y
③ ATC 单元
④ VCS（附有选项时）
✎ ✎
在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。
有关手动控制的详细内容，请参见「第 9 章手动控制」。
2)如若动作有问题，请参考下页「管道系统图」进行检查。
检查项目
5-2-3管道及接头
实施频度：每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
5-2-4各单元汽缸
实施频度：每周
检查内容 检查各汽缸的动作
＜右側面奥側＞
フィンガバルブ
操作手册Ⅱ
5-5
(1)管道系统图(主机)
Cellblock
A
B
P
R
A
B
A
B
ATC
)
CVS
f6 ST=30
带电磁阀的复式接头
AE/E
阀
AE/E
阀
操作手册Ⅱ
5-6
(2)管道系统图(贴片头)
Blow-Sw
P
φ8
Vac-Sw
エジェクタ
フィルタ
圧力センサ
ノズル
(3)管道系统图(统一更换台，4处通用)
φ6
P
ローラレバー
ローラレバー
セレクタ
パイロットチェック弁
φ6
φ6
φ6
φ6
φ6