N7201A706C00(1)NPM-WX engineer - 第120页
NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-03E-0 0 基板传送带 各单元定期检查部位 2 ＜各类型共同点＞ 3-6 -3 前侧 ・ 后侧 工程师手册 3-6 基板检测传感器 宽度调整滚珠丝杠 基板传送皮带 ■单式传送带 ■双式传送带 基板传送皮带 基板传送皮带 基板支撑块 线性导轨 线性导轨 宽度调整滚珠丝杠 线性导轨 基板检测 传感器 宽度调整滚珠丝杠 基板检测传感器 基板检测传感器 基板检测传感器 基板传送皮带 宽度调整滚珠丝…
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00
3-6-2
真空泵
触摸屏
XY单元
后侧
触摸屏
真空泵
X轴线性导轨
电缆护链
Y轴线性导轨
电缆护链
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
3-6-3
前侧・后侧
工程师手册
3-6
基板检测传感器
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
■单式传送带
■双式传送带
基板传送皮带
基板传送皮带
基板支撑块
线性导轨
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
线性导轨
基板检测
传感器
宽度调整滚珠丝杠
基板检测传感器
基板检测传感器
基板检测传感器
基板传送皮带
宽度调整滚珠丝杠
基板支撑块
基板检测传感器在各轨道上有6个。
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3-6-4
传送带L、传送带R(选购件)
■传送带L (N-CONL)、传送带R (N-CONR)
基板检测传感器
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
基板传送皮带
滚珠花键
滚珠花键
宽度调整线性轴
前侧
延长传送带 (选购件)
前侧
基板检测
传感器
基板传送皮带
■单式传送带
■双式传送带
基板检测
传感器
基板传送皮带