N7201A706C00(1)NPM-WX engineer - 第121页

NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-03E-0 0 3-6 -4 传送带 L 、传送带 R( 选购件 ) ■传送带 L (N-CONL) 、传送带 R (N-CONR) 基板检测传感器宽度调整滚珠丝杠基板传送皮带基板传送皮带滚珠花键滚珠花键宽度调整线性轴前侧延长传送带 ( 选购件 ) 前侧基板检测传感器基板传送皮带 ■单式传送带 ■双式传送带基板检测传感器基板传送皮带

NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00

基板传送带

各单元定期检查部位 2

＜各类型共同点＞

3-6-3

前侧・后侧

工程师手册

3-6

基板检测传感器

宽度调整滚珠丝杠

基板传送皮带

■单式传送带

■双式传送带

基板传送皮带

基板支撑块

线性导轨

宽度调整滚珠丝杠

线性导轨

基板检测

传感器

宽度调整滚珠丝杠

基板检测传感器

基板传送皮带

宽度调整滚珠丝杠

基板支撑块

基板检测传感器在各轨道上有6个。

NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00

3-6-4

传送带L、传送带R(选购件)

■传送带L (N-CONL)、传送带R (N-CONR)

基板检测传感器

宽度调整滚珠丝杠

基板传送皮带

滚珠花键

宽度调整线性轴

前侧

延长传送带 (选购件)

前侧

基板检测

传感器

基板传送皮带

■单式传送带

■双式传送带

基板检测

传感器

基板传送皮带

NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00

各单元定期检查部位 3

＜各类型共同点＞

3-6-5

工程师手册

3-6

交换台车 (选购件)

编带切屑回收箱

多功能识别照相机V2 (通用)

供料器工作台

玻璃盖

连接器

前侧・后侧

■交换台车 (17站) ■交换台车 (30站)