N7201A706C00(1)NPM-WX engineer - 第137页

4 定期检查每 560 小时保养

NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00

3-7-3

4 定期检查

每560小时保养

EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS

卸下托盘供料器或

者交换台车

工程师手册

4-1

基板传送带的润滑脂添加 1

4-1-1

1

5

2

3

4

6

OFF SERVO ON

将供料器工作台盖

倒向内侧

(→P.2-5)

●事先确认不存在支撑销。

确认提示

●不要倚靠在供料器工作台盖

上，也不要在上面放置物品。

●托盘供料器时

(→P.11-8)

●交换台车时

(→P.2-4)

ACTIVATION

ACTIVATION

对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。

使用工具: 润滑脂枪所需时间: 20 分钟

 对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨添加润滑脂。

 轨道1、轨道2都是从前侧实施作业。

 是双轨传送带时，建议在双轨模式下进行作业。(→P.9-2-1)

 是单轨传送带时，只需进行轨道1的作业。