N7201A706C00(1)NPM-WX engineer - 第173页
EJM9DC-MB-04E-0 0 NPM-W X/WXS OFF SERVO ON 4-7 -2 4 5 6 8 7 9 从贴装头卸下吸 嘴 ●捏住吸嘴外周往下拉。 用棉纱布擦拭大型 反射板 大型反射板 将吸嘴安装到贴 装头上
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
1
2
4-7-1
11
10
3
工程师手册
4-7
OFF SERVO ON
安装交换台车
(→P.2-4)
大型反射板的清扫
(4吸嘴贴装头(选购件)、3吸嘴贴装头V2(选购件))
●选择要清扫的头的工作台
对大型反射板的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉纱布 所需时间: 10 钟
●大型反射板如果有灰尘，是造成识别错误的原因。
卸下交换台车
(→P.2-4)
ACTIVATION
ACTIVATION
●前侧贴装头的Y轴，移动
到前侧。
●后侧贴装头的Y轴，移动
到后侧。
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
OFF SERVO ON
4-7-2
4
5
6
8 7
9
从贴装头卸下吸
嘴
●捏住吸嘴外周往下拉。
用棉纱布擦拭大型
反射板
大型反射板
将吸嘴安装到贴
装头上
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
2
7
真空泵过滤器的清扫
4-8-1
9
工程师手册
4-8
8
ON
3
1
拆下后侧的交換
台车
●拆卸方法
・交换台车时
(→P.2-4)
对真空泵过滤器的清扫方法进行说明。
使用工具: 六角扳手、十字螺丝刀 所需时间: 30 分钟
●作业过程中，注意不要碰撞到头。
主电源开关置于
OFF，上锁
●螺丝 (8 个)
安全盖
卸下安全盖
安装安全盖
安全盖
●螺丝 (8个)
安装后侧的交換
台车
●安装方法
・交换台车时
(→P.2-4)
解锁