N7201A706C00(1)NPM-WX engineer - 第176页
EJM9DC-MB-04E-0 0 NPM-W X/WXS 安全开关的检查 1 按后侧的紧急停止开关，并确认画 面与前侧相同地过渡到新画面。 4-9 -1 工程师手册 4-9 紧急停止开关的检查 2 对紧急停止开关的检查方法进行说明 。 使用工具 : 不要 所需时间 : 2 分钟 ●请事先执行原点复归操作。 按前侧的紧急停止开关。 请确认画面已经过渡到左侧画面。
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
4
5
6
4-8-2
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
把过滤器安装在
安全盖上
过滤器
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪，清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
安全开关的检查
1
按后侧的紧急停止开关，并确认画
面与前侧相同地过渡到新画面。
4-9-1
工程师手册
4-9
紧急停止开关的检查
2
对紧急停止开关的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●请事先执行原点复归操作。
按前侧的紧急停止开关。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
4-9-2
1
2
3
3
打开前侧安全盖后，确认
・[F 安全盖]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
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打开后侧安全盖后，确认
・[R 安全盖]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
1
2
4
安全开关 (安全盖) 的检查
对安全开关(安全盖)的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●顺序 至 ，是从设备前侧进行，顺序 是从设备的后侧进行操作。
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(显示「输入确认」画面显示)
要按动4次